THz帯検出器/ミキサー用ショットキ・ダイオードの開発 : GaAs表面処理とPtメッキ電極の均一性の関係
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
光通信における高密度化、地球環境計測、電波天文学、核融合プラズマ診断、材料の物性測定等において、テラヘルツ(10^<12>Hz)帯を利用した計測が重要な地位を占めてきている。我々は、テラヘルツ帯高感度へテロダイン受信器に用いられるショットキ・ダイオード(SBD)の研究開発を行っている。我々は、これまでにSBDの性能を向上すべく、最適設計を行い、主にダイオード直径0.3μmのものの製作を行っている。このダイオード直径の微細化に伴い、Ptショットキ電極形成工程において、不均一なメッキ膜が生じるようになってきた。この原因として、従来ダイオード雑音特性に関して極めて良い特性を示していた硫化アンモニウム処理の影響があることが明らかになったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
水野 皓司
東北大学電気通信研究所
-
鈴木 哲
仙台電波工業高等専門学校
-
莅戸 立夫
東北大学電気通信研究所
-
鈴木 哲
東北大学電気通信研究所
-
莅戸 立夫
東北大通研
-
莅戸 立夫
理化学研究所
-
張 仁治
理化学研究所フォトダイナミクス研究センター
-
張 仁治
理化学研究所 フォトダイナミクス研究センター
関連論文
- B-1-90 77GHz帯対せき形フェルミアンテナの放射パターン測定(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般セッション)
- C-2-110 77GHz帯イメージング素子の温度分解能の評価法(C-2.マイクロ波C(マイクロ波・ミリ波応用装置),一般セッション)
- C-2-111 77GHz帯低雑音増幅器の実装基板材質による特性変化の検証(C-2.マイクロ波C(マイクロ波・ミリ波応用装置),一般セッション)
- CS-4-1 77GHz帯ミリ波パッシブ撮像装置の開発(CS-4.ここまできたミリ波・テラヘルツ波イメージング,シンポジウムセッション)
- テラヘルツ波帯のコヒーレント発振器とその応用(テラヘルツ帯応用を開拓する材料・デバイス・システム技術)
- ミリ波パッシブイメージング技術のセキュリティ応用--ミリ波雑音のカメラを利用したイメージング (特集 人をまもる電波センシング技術)
- ミリ波パッシブイメージング技術(セキュリティ分野への応用を主に)
- 広帯域対せき形フェルミアンテナを用いた時間領域アクティブイメージング(衛星通信・放送技術及び一般)
- 94GHz帯パッシブイメージセンサ用InP-HEMT MMICの開発(マイクロ波/一般)
- ミリ波イメージング用小形誘電体レンズアンテナの設計(アダプティブアンテナ,MIMO及び無線信号処理技術,無線通信一般)
- B-1-172 ミリ波パッシブイメージング用誘電体レンズの2次元FDTD解析(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般セッション)
- B-1-136 ミリ波パッシブイメージング用誘電体レンズの2次元FDTD解析(B-1. アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般セッション)
- ミリ波パッシブイメージング用誘電体レンズの2次元FDTD解析
- B-1-161 誘電体レンズアンテナの3次元FDTD解析(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般講演)
- B-2-21 広帯域ミリ波イメージングレーダにおけるマルチ周波数信号処理による解像度向上の評価実験(B-2.宇宙・航行エレクトロニクス,一般セッション)
- 送受アンテナを同軸上に配置した高分解能ミリ波イメージングレーダ
- B-1-137 送受アンテナをレンズの光軸内に配置した広帯域ミリ波イメージングレーダの提案(B-1. アンテナ・伝播B(アンテナ一般),一般セッション)
- B-2-32 コンクリート中の鉄筋径及び位置の同時推定(B-2.宇宙・航行エレクトロニクス,一般講演)
- 「人をまもる電波センシング技術」の特集号企画にあたって
- 94GHz帯パッシブイメージセンサ用InP-HEMT MMICの開発(マイクロ波/一般)
- ミリ波帯小型パッシブイメージング装置の開発
- ミリ波帯小型パッシブイメージング装置の開発
- スリット型プローブを有するミリ波帯近接場顕微鏡システムを用いた定量測定
- スリット型プローブを持つミリ波帯近接場顕微鏡におけるコントラスト評価
- ミリ波帯イメージング用光学系
- SC-2-7 ミリ波帯イメージング技術における画像再構成法
- プラズマ計測用ミリ波イメージング光学系
- フィードフォワード型ニューラルネットワークによるミリ波電波映像の後処理
- ミリ波パッシブイメージングに関する理論的検討
- テーパースロットアンテナを用いたミリ波帯イメージングアレイ
- マイクロストリップアンテナを用いたミリ波帯イメージングアレイ
- 5. その他の応用 : 5.1 イメージング計測( ミリ波・サブミリ波計測の基礎と応用V)
- B-1-150 77GHz帯ミリ波パッシブイメージング装置(B-1.アンテナ・伝搬B(アンテナ一般),一般セッション)
- C-2-115 背景上端温度を利用したミリ波画像のリアルタイム校正法(C-2.マイクロ波C(マイクロ波・ミリ波応用装置),一般セッション)
- C-2-133 ミリ波帯パッシブイメージング用受信回路の研究(C-2.マイクロ波C(応用装置))
- ミリ波帯走査型近接場顕微鏡用共振型スリットプローブ
- ミリ波帯走査型近接場顕微鏡用共振型スリットプローブ
- C-2-137 ミリ波帯近接場顕微鏡用共振型スリットプローブ(C-2.マイクロ波C(応用装置))
- ミリ波帯近接場顕微鏡による物体異方性の画像化
- 高周波帯走査型近接場顕微鏡技術
- C-2-102 ミリ波帯近接場顕微鏡による物体異方性の画像化
- ドットマトリクス型単一走行キャリアフォトダイオードを用いた短ミリ波の発生
- ドットマトリクス型単一走行キャリアフォトダイオードを用いた短ミリ波の発生
- ミリ波・サブミリ波帯の計測・回路技術
- マイクロ波・ミリ波帯走査型近接場顕微鏡技術
- ミリ波ネットワークアナライザによる液晶材料の測定
- ミリ波ネットワークアナライザによる液晶材料の測定
- C-2-112 蛍光灯を光源としたミリ波帯イメージング(C-2.マイクロ波C(マイクロ波・ミリ波応用装置),一般セッション)
- C-2-96 94GHz帯パッシブイメージセンサの開発(C-2.マイクロ波C(マイクロ波・ミリ波応用装置),一般講演)
- C-2-114 94GHz帯イメージセンサ用小型テーパスロットアンテナの開発(C-2. マイクロ波C(応用装置), エレクトロニクス1)
- C-2-113 94GHz帯イメージセンサ用SPDTスイッチの試作(C-2. マイクロ波C(応用装置), エレクトロニクス1)
- C-2-35 ミリ波イメージング・アレイの空間分解能と温度分解能(C-2. マイクロ波A(能動デバイス), エレクトロニクス1)
- 94GHz帯イメージセンサ用テーパースロットアンテナの開発(一般, 学生研究会/マイクロ波シミュレータ/一般)
- コルゲート構造付フェルミアンテナの広帯域FDTD解析(アンテナ・電磁界解析, ブロードバンドワイヤレスのためのアンテナ・伝搬技術論文)
- B-1-78 コルゲート構造付フェルミアンテナ素子間の相互結合(B-1. アンテナ・伝播B(アンテナ一般), 通信1)
- コルゲート構造付広帯域対せき形フェルミアンテナの高利得化(光・電波ワークショップ)
- コルゲート構造付広帯域対せき形フェルミアンテナの高利得化(光・電波ワークショップ)
- コルゲート構造付広帯域対せき形フェルミアンテナの高利得化(光・電波ワークショップ)
- コルゲート構造付広帯域対せき形フェルミアンテナの高利得化(光・電波ワークショップ)
- B-1-88 ミリ波帯パッシブイメージング用アンテナの開発(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般))
- B-1-87 円形指向性をもつフェルミアンテナの設計(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般))
- C-2-138 ミリ波計測の医療応用への可能性について(C-2.マイクロ波C(応用装置))
- CS-3-7 94GHz帯パッシブイメージセンサ用受信器の開発(C-3. ミリ波無線システムと回路・デバイスの開発動向,シンポジウムセッション)
- 94GHz帯パッシブイメージセンサの開発(ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム)
- SC-1-9 光近接場による電子のエネルギー変調効果の実験的観測(SC-1.光新技術の理論的課題 : 近接場ナノ光学・フォトニック結晶・負屈折率媒質)
- 光励起半導体プラズマを用いたドップラーシフト型周波数変換(光・電波ワークショップ)
- 光励起半導体プラズマを用いたドップラーシフト型周波数変換(光・電波ワークショップ)
- 光励起半導体プラズマを用いたドップラーシフト型周波数変換(光・電波ワークショップ)
- C-14-13 光励起半導体プラズマを用いた周波数アップコンバータ
- C-2-6 逓倍動作のガンダイオードを用いたミリ波帯オーバーモード導波管型電力合成器
- 微小間隙回路を用いたCO_2レーザによる電子ビームのエネルギー変調
- コルゲート構造付ミリ波フェルミアンテナの設計(アンテナ設計技術)(電磁界解析手法とアンテナ・伝搬における設計技術論文特集)
- B-1-161 コルゲート構造付ミリ波フェルミアンテナの広帯域 FDTD 解析
- ミリ波帯近接場顕微鏡による物体異方性の画像化
- ミリ波帯近接場顕微鏡による物体異方性の画像化
- テラヘルツ帯用0.25μmショットキ・バリア・ダイオードの開発(マイクロ波電力応用/一般)
- テラヘルツ帯用0.25μmショットキ・バリア・ダイオードの開発
- ミリ波パッシブイメージング装置の受信回路の研究(マイクロ波シミュレータ/一般/学生会)
- C-2-104 ミリ波帯パッシブ・イメージング・アレイの開発 (2)
- C-2-103 ミリ波帯パッシブ・イメージング・アレイの開発 (1)
- ミリ波帯イメージングアレー用光学系の設計とプラズマ計測への適用
- ミリ波帯イメージングアレー用八木 ・ 宇田アンテナの最適設計
- 対せき形フェルミアンテナアレーの基礎特性
- ホーンアンテナアレーを用いた準光学的ガンダイオード発振器(アクティブアンテナとその集積化技術論文特集)
- 準光学的共振器を用いたミリ波・サブミリ波帯電力合成型発振器
- 準光学的共振器を用いた短ミリ波帯共鳴トンネルダイオードのコヒーレント電力合成
- 準光学的共振器を用いた短ミリ波帯電力合成型ガンダイオード発振器
- 共鳴トンネル・ダイオードを用いたミリ波・サブミリ波帯準光学的発振器アレイ : 理論的検討
- 微小スリットを用いた赤外光による電子エネルギー変調
- 金属スリット回路を用いたCO_2レーザ光による電子ビームのエネルギー変調
- THz帯検出器/ミキサー用ショットキ・ダイオードの開発 : GaAs表面処理とPtメッキ電極の均一性の関係
- ミリ波・サブミリ波帯コーナーキューブ型ショットキ・ダイオード・ミキサーの解析
- テラヘルツ波帯のコヒーレント発振器とその応用
- マイクロマシン技術を応用した感光性プラスチックサブミリ波帯回路素子の試作
- マイクロマシン技術を応用した感光性プラスチックサブミリ波帯回路素子の試作
- マイクロマシン技術を応用した感光性プラスチックサブミリ波帯回路素子の試作
- ミリ波, テラヘルツ波の比較, そして各々の今後の展開
- 直列接続法による共鳴トンネルダイオードのスプリアス発振抑制
- 直列接続を用いた共鳴トンネルダイオード発振器の安定化に関する研究
- 金属格子鏡型ファブリ・ペロー共振器を用いた電力合成型HEMT発振器