ミリ波帯近接場顕微鏡による物体異方性の画像化
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概要
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スリット型プローブを用いたミリ波帯走査型近接場顕微鏡において,検査対象の異方性を考慮した新たな画像再構成法を提案し,その妥当性の検証を行った。提案した画像再構成法により,表面内において異方性を有するワイヤーグリッド等の異方性の画像化に成功した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-10-14
著者
-
水野 皓司
東北大学電気通信研究所
-
工藤 博幸
筑波大学システム情報工学研究科
-
工藤 博幸
筑波大学電子・情報工学系
-
莅戸 立夫
東北大学電気通信研究所
-
莅戸 立夫
東北大通研
-
飯渕 良平
東北大学電気通信研究所
-
工藤 博幸
東北大学工学部通信工学科
-
荏戸 立夫
東北大学電気通信研究所
-
水野 浩司
東北大通研
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