テラヘルツ帯用0.25μmショットキ・バリア・ダイオードの開発
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概要
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テラヘルツ波検出のための0.25μmアノードを有するPt/GaAsショットキ・バリア・ダイオード(SBD)の開発を行った.プロセス基盤技術の確立として,4重極質量分析計によるECRプラズマエッチングの終点検出を試みた.製作したデバイスのビデオ検出性能を評価し,周波数に対する感度特性について議論した.低周波雑音特性から等価雑音電力を求め,7.3×10^<-11> W/Hz^<l/2>という値が得られた.またノイズ発生のメカニズムについて考察した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-10-21
著者
-
水野 皓司
東北大学電気通信研究所
-
鈴木 哲
仙台電波工業高等専門学校
-
安井 孝成
長岡技術科学大学
-
南出 泰亜
理化学研究所フォトダイナミクス研究センター
-
鈴木 哲
仙台電波高専
-
藤島 寛智
理化学研究所フォトダイナミクス研究センター
-
荒木 実
東北大学電気通信研究所
-
安井 孝成
理化学研究所フォトダイナミクス研究センター
-
南出 泰亜
理化学研究所
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