2-port SAW共振器によるフロー系液体センサ
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概要
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弾性表面波(Surface acoustic wave)デバイスは、伝搬特性が外部環境によって大きく変化する。その特性をセンサとして利用し、2-port SAW共振器を用いたフロー系液体センシングシステムの構築を行い、液体の諸特性に対する測定を行った。本報告では、2-port SH-SAW共振器と、構築したセンシングシステムの内容について説明し、そのシステムを用いて行った様々な測定結果を示すとともに、そこからわかる液体の諸特性を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-12-07
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