圧電体の電気機械結合係数測定法に試料形状が与える影響
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概要
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圧電体の基本的特性の一つである電気機械結合係数kは、通常アドミッタンス周波数特性から求められる。しかし、アドミッタンス周波数特性は試料形状が測定に大きな影響を与えることが知られている。本研究では、試料の電極面が傾いたときの影響について、有限要素法を用いて解析し、さらに実験によってそれらを確かめた。解析の結果、横効果である矩形板の伸び振動(31)モードおよび円板広がり振動(p)モードでは傾きの影響がなく、縦効果である棒の伸び振動(33)モードおよび厚み振動(t)モードではスプリアスが混在することがわかった。また、実験によっても同様の傾向が確かめられた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-11-16
著者
-
竹中 正
東京理科大学理工学部
-
安達 裕
物質・材料研究機構物質研究所
-
安達 裕
物質・材料研究機構物質研究所 電子材料ブループ
-
安達 裕
東京理科大学理工学部電気工学科
-
竹中 正
東京理科大学理工学部電気電子情報工学科
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竹中 正
東京理科大学理工学部電気工学科
-
竹中 正
東京理科大学理工学研究科電気工学専攻
-
Takenaka Tadashi
Department Of Electrical Engineering Science University Of Tokyo
-
竹中 正
東京理科大学
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