暗視野TEM法によるVPE-GaAs_xP_<1-x>中の濃度変動の解析 : 薄膜
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1990-07-20
著者
-
藤田 尚徳
三菱化成総合研究所
-
藤井 克司
三菱化成
-
平田 光兒
阪大教養
-
竹田 精治
阪大・教養
-
平田 光兒
阪大・教養
-
藤井 克司
三菱モンサント化成
-
佐藤 忠重
三菱化成
-
平田 光児
阪大理
-
藤田 尚徳
三菱化成
-
藤井 克司
三菱モンサント
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