B204 SThM用サーマルカンチレバーの実温度計測特性(オーガナイズドセッション10 : マイクロビジュアリゼーション)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A special thermal micro-cantilever was made by the micro-fabrication technology. It has differential thermocouple, electric heater and other thermocouple on its Si0_2 body of 260 μm length, Temperature measurement experiments for small metal lines of 5 μm width have conducted with the cantilever on SThM (Scanning Thermal Microscope) with the thermal feedback system under low pressure condition where heat conduction via ambient gas is negligible. Although passive method with no thermal feedback takes heat flow images affected both temperature and contact conductance changes, the active method with the feedback measures real temperature images of sample surface.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-03
著者
関連論文
- MEMSセンサによる核沸騰熱伝達機構の研究 : 第2報,電解トリガーと伝熱解析法(熱工学,内燃機関,動力など)
- ナノメートル, ナノグラム, ナノワットの熱計測
- MEMS技術を用いたカンチレバー型カロリメータ(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 湿度操作による空気中の浮遊微粒子除去効果(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- マイクロマニピュレータ用メニスカスチップの研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 第44回熱測定討論会報告
- F-1521 プラグノズルのボートテールドラッグ低減に関する数値計算(S55-3 高温/高速現象と可視化(3))(S55 高速/高温現象と可視化)
- 機械工学年鑑(1999年)熱工学 1. 伝熱 2. 燃焼・燃料
- 第17回日本熱物性シンポジウム : 特別セッション(C)薄膜・微小領域の熱物性/熱測定パネルディスカッション
- 明治大学における機械工学教育(大学事例,創立110周年記念 21世紀をになう機械技術者の育成 : 初等教育から継続教育まで)
- 竜巻型旋回流の熱伝達(第一報 : 流動特性)
- T0502-1-1 小型カンチレバーによる共振質量計測法の開発(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(1)バイオMEMS)
- M5-6 マイクロマニピュレータ用メニスカスチップの研究(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- M5-5 湿度操作による空気中の浮遊微粒子除去効果(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- 超微量熱分析"ナノカロリメトリ"の技術動向
- K-1705 分子動力学法を用いた溶存気体の壁面気泡核生成(J08-2 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ(2))(J08 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ)
- 竜巻型旋回流の流動構造
- 501 アンギュラー玉軸受内外輪間の熱伝達特性(O.S.3-1 熱エネルギー有効利用の基礎と応用I)(O.S.3 熱エネルギー有効利用の基礎と応用)
- 2813 薄膜-固体界面の境界熱抵抗と熱輸送特性
- M3-8 MEMS技術を用いたカンチレバー型カロリメータ(M3 熱流体デバイス)
- C134 零位式放射温度計測システムの開発 : 測定原理の検証と MEMS 複合センサの試作
- E133 燃料貯蔵型気化供給DMFCにおける熱物質移動特性の2相流モデル解析(熱物性III)
- C143 ナノスケール流路における気体の流動特性(マイクロ・ナノスケールの熱輸送現象II)
- 515 ナノスケール流路における流動特性(T07-3 流体及び界面におけるナノ構造と流動特性(3),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 0515 携帯機器用燃料気化供給型DMFCの発電特性(S49-1 水素貯蔵およびPEM燃料電池,S49 燃料電池技術)
- D242 燃料貯蔵型 DMFC におけるメタノール供給方法に関する研究
- 遺伝的アルゴリズムを用いた薄膜の安定構造解析 (マイクロスケールの流体・熱流動現象)
- Micro Heat Exchanger for Refrigeration
- マイクロチャンネル内二相流の流動特性
- 薄膜生成過程における3次元核成長に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- E213 MEMSセンサを用いた核沸騰熱伝達機構の研究 : 孤立気泡領域における熱伝達機構(熱伝達II)
- M3-9 核沸騰熱伝達機構研究用MEMSセンサ(M3 熱流体デバイス)
- F221 湿度操作による空気中の浮遊微粒子の除去(次世代冷凍空調技術に関わる伝熱過程II)
- (8)MEMSセンサによる核沸騰熱伝達機構の研究 : 第1報,気泡底部の局所温度計測(論文,日本機械学会賞〔2008年度(平成20年度)審査経過報告〕)
- MEMSセンサによる核沸騰熱伝達機構の研究 : 第1報,気泡底部の局所温度計測(熱工学,内燃機関,動力など)
- 1ω・3ω計測による流体の温度・熱物性値計測 : 第1報,実験的研究
- SThMによる局所熱伝導率計測に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- SThMによる局所熱伝導率計測法に関する研究(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)
- H124 SThM による局所熱伝導率の定量的計測に関する研究
- SThMによる熱伝導率計測法の性能評価
- T0502-1-2 ナノワット級代謝熱計測のための示差型バイオカロリメータの開発(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(1)バイオMEMS)
- 第2回国際伝熱フォーラム(IFHT2008)(東京)
- 340 MEMSを用いた微小熱分析技術の開発(T06-4 マイクロ・ナノ熱流体システム(4) 計測,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 第60回熱測定講習会報告
- 日本伝熱学会学術賞を受賞して
- F212 薄膜サーモパイルセンサによる細胞の代謝熱モニタリング(バイオ・食品における輸送特性の測定1)
- MEMSセンサによる少数細胞の代謝熱モニタリング
- ポスターセッション報告記1
- Heat Transport Characteristics of Micro-Loop Heat Pipe with Capillary Pump Structure
- 走査型熱顕微鏡における能動式温度計測カンチレバーの高性能化
- マイクロチャンネル内スラグ流におけるガス吸収特性 : 第1報,CO_2/水系における実験的研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- 干渉法を用いた水溶液凝固現象の微視的研究
- D-9 PLIFを用いたラム保炎器後流の温度・濃度場計測(燃焼1)
- W04(2)(b) 高クヌッセン数流れと固体表面の相互作用の実験的解明(高クヌッセン数流れの総合的解明)
- C122 DFTによるDMFCアノード触媒反応の解析(OS-11 ナノスケール伝熱II)
- 914 レーザーアブレーションのMDシミュレーション(J14-1 量子・分子熱流体工学(1),J14 量子・分子熱流体工学,2005年度年次大会)
- レーザーアブレーションにおけるレーザープロファイルの影響(OS15b 熱流体の分子シミュレーション)
- 自励振動型ヒートパイプの動作限界の拡張(オーガナイズドセッション9 マイクロマシン/電子デバイスにおける伝熱問題)
- Pt触媒上のCO吸着分子の挙動(J11-3 量子・分子熱流体工学(3),J11 量子・分子熱流体工学)
- A121 密度汎関数法を用いた Pt 表面上での CO 分子の挙動に関する研究
- F1-2 撥水性壁面の流動抵抗低減効果と溶存気体の壁面核生成
- C232 熱物性シミュレーションのための非経験的分子間ポテンシャルの構築
- C120 熱物性シミュレーションのための分子間ポテンシャルの検討(新技術フォーラム-1 : 熱工学における量子力学)
- 2724 蒸気泡駆動型マイクロポンプの作動原理とその特性
- B204 SThM用サーマルカンチレバーの実温度計測特性(オーガナイズドセッション10 : マイクロビジュアリゼーション)
- 原子間力顕微鏡を用いた微小スケール熱計測 : 第2報, 温度・熱物性値分布計測
- Phase Field Modelによる過冷却凝固のシミュレーション
- ダイナミック型氷蓄熱システムの蓄氷予測
- H123 MEMS カンチレバーセンサーによる微小熱計測の試み
- K-1803 結晶成長速度の実測値を利用した形態形成シミュレーション(G06-1 熱工学(1) : 吸着・凝固)(G06 熱工学部門一般講演)
- 原子間力顕微鏡を用いた微小スケール温度場の計測
- T0501-5-2 MEMSサーモパイルセンサによるnW級バイオカロリメトリの研究([T0501-5]マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(5))
- 8・1・2 熱力学・熱物性(8・1 伝熱および熱力学,8.熱工学,機械工学年鑑)
- B142 マイクロマニピュレータチップと微小物体間に働く付着力の熱的制御性(OS-4:マイクロ・ナノ熱工学(II))
- 21007 マイクロマニピュレータ用メニスカスチップの研究(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(2),オーガナイズドセッション)
- 21002 高感度MEMSサーモパイルセンサを利用したバイオカロリメトリの研究(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- 21008 MEMSカンチレバーを用いた高速・高感度熱分析(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(2),オーガナイズドセッション)
- MNM-P4-3 付着力の熱的制御を用いたマイクロマニピュレーション(P4 ナノ・マイクロ異相界面センシングと制御)
- MNM-2A-1 MEMSを用いた複合熱分析法の研究 : SEM内熱分析実験(セッション 2A MEMSデバイスを用いた熱・流体計測,マイクロ・ナノ工学における非線形力学,電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- 21001 MEMSセンサを用いた核沸騰熱伝達機構の研究 : 孤立気泡下のミクロ液膜厚さの評価(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- 走査型熱顕微鏡による微小スケール実温度計測
- 走査型熱顕微鏡による定量温度画像計測
- 第12回国際伝熱会議 : IHTC12
- 走査型熱顕微鏡による微少スケール熱計測
- 1・12・2 環境伝熱 1・12 新分野の伝熱 (1.伝熱)
- 1・12・1 新素材・生産プロセス 1・12 新分野の伝熱 (1.伝熱)
- マイクロチャンネル内を流れる変形気泡の数値解析
- 23・4 マイクロ物理センサ(23.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)