薄膜生成過程における3次元核成長に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The stability of a very thin film at the initial stage of deposition was investigated using perturbation theory. It is assumed that the critical wavelength of perturbation on a continuous thin film corresponds to the diameter of nuclei and that the surface tension of a thin film changes with the film thickness. With these assumptions, it can be shown that the diameter of a nucleus increases linearly with the deposition time. It is interesting to note that the resulting equation is similar to the well-known equation of contact angle. To confirm the result of the analysis, a vacuum deposition experiment was conducted. Copper nuclei on the substrate were observed using a transmission electron microscope and diameters of island unclei were measured. The results clearly show that the effective diameter of nuclei increases linearly with deposition time. The good agreement between analysis and the experiment indicates the validity of this analysis.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1997-01-25
著者
-
中別府 修
東京工業大学大学院 理工学研究科 機械物理工学専攻
-
井上 剛良
東京工業大学
-
宮崎 康次
Department Of Mechanical Engineering Science Tokyo Institute Of Technology
-
井上 剛良
東工大
-
井上 剛良
東京工業大学大学院
-
土方 邦夫
東京工業大学
-
宮崎 康次
東京工業大学大学院
-
中別府 修
明治大 理工
-
土方 邦夫
東京工業大学工学部
-
Hijikata Kunio
Tokyo Institue Of Technology
-
Hijikata Kunio
Department Of Mechanical Engineering Science Faculty Of Engineering Tokyo Institute Of Technology
-
Hijikata Kunio
Department Of Physical Engineering Tokyo Institute Of Technology
関連論文
- MEMSセンサによる核沸騰熱伝達機構の研究 : 第2報,電解トリガーと伝熱解析法(熱工学,内燃機関,動力など)
- ナノメートル, ナノグラム, ナノワットの熱計測
- 核沸騰熱伝達機構研究用MEMSセンサ(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- MEMS技術を用いたカンチレバー型カロリメータ(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 湿度操作による空気中の浮遊微粒子除去効果(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- マイクロマニピュレータ用メニスカスチップの研究(第1回マイクロ・ナノ工学シンポジウム)
- 第44回熱測定討論会報告
- 機械工学年鑑(1998年) 熱工学
- ダイナミック型氷蓄熱システムの解氷予測
- 次世代の伝熱を探る
- 液体密封マイクロ流路列を用いたポリマータッチパネルセンサ
- 機械工学年鑑(1999年)熱工学 1. 伝熱 2. 燃焼・燃料
- MEMSセンサによる核沸騰熱伝達機構の研究 : 第3報,計測・解析法の評価と孤立気泡の伝熱特性(熱工学,内燃機関,動力など)
- 竜巻型旋回流の熱伝達(第一報 : 流動特性)
- T0502-1-1 小型カンチレバーによる共振質量計測法の開発(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(1)バイオMEMS)
- M5-6 マイクロマニピュレータ用メニスカスチップの研究(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- M5-5 湿度操作による空気中の浮遊微粒子除去効果(M5 アクチュエータ/フィジカルセンサ)
- アンギュラー玉軸受の内外輪間伝熱特性
- K-1705 分子動力学法を用いた溶存気体の壁面気泡核生成(J08-2 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ(2))(J08 熱流体現象の原子・分子論的アプローチ)
- 竜巻型旋回流の流動構造
- 空と宇宙に学ぶ/学生の挑戦 : 東京工業大学 Meister 人力飛行機部門の活動と課題
- 関東, 東海支部におけるものづくりと伝熱に関する取り組み
- 501 アンギュラー玉軸受内外輪間の熱伝達特性(O.S.3-1 熱エネルギー有効利用の基礎と応用I)(O.S.3 熱エネルギー有効利用の基礎と応用)
- 2813 薄膜-固体界面の境界熱抵抗と熱輸送特性
- 日本伝熱学会学術賞を受賞して
- 原子間力顕微鏡を用いた微小スケール熱膨張・温度計測 (マイクロスケールの流体・熱流動現象)
- ビスマスーテルル系熱電素子の薄膜蒸着と性能評価
- ダイナミック型氷蓄熱システムの解氷予測
- 速度選別真空蒸着法による蒸着素過程の研究 : 速度選別器の開発と蒸着過程への応用
- 非共沸2成分混合蒸気の水平管内凝縮熱伝達 : R113+R11の場合
- M3-8 MEMS技術を用いたカンチレバー型カロリメータ(M3 熱流体デバイス)
- E133 燃料貯蔵型気化供給DMFCにおける熱物質移動特性の2相流モデル解析(熱物性III)
- C143 ナノスケール流路における気体の流動特性(マイクロ・ナノスケールの熱輸送現象II)
- 515 ナノスケール流路における流動特性(T07-3 流体及び界面におけるナノ構造と流動特性(3),大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 0515 携帯機器用燃料気化供給型DMFCの発電特性(S49-1 水素貯蔵およびPEM燃料電池,S49 燃料電池技術)
- D242 燃料貯蔵型 DMFC におけるメタノール供給方法に関する研究
- 遺伝的アルゴリズムを用いた薄膜の安定構造解析 (マイクロスケールの流体・熱流動現象)
- Micro Heat Exchanger for Refrigeration
- マイクロチャンネル内二相流の流動特性
- 薄膜生成過程における3次元核成長に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- M3-9 核沸騰熱伝達機構研究用MEMSセンサ(M3 熱流体デバイス)
- F221 湿度操作による空気中の浮遊微粒子の除去(次世代冷凍空調技術に関わる伝熱過程II)
- (8)MEMSセンサによる核沸騰熱伝達機構の研究 : 第1報,気泡底部の局所温度計測(論文,日本機械学会賞〔2008年度(平成20年度)審査経過報告〕)
- MEMSセンサによる核沸騰熱伝達機構の研究 : 第1報,気泡底部の局所温度計測(熱工学,内燃機関,動力など)
- 1ω・3ω計測による流体の温度・熱物性値計測 : 第1報,実験的研究
- 水・エタノール混合蒸気の凝縮における液滴発生機構の不安定解析
- SThMによる局所熱伝導率計測に関する研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- SThMによる局所熱伝導率計測法に関する研究(オーガナイズドセッション5 熱物性とその計測法)
- H124 SThM による局所熱伝導率の定量的計測に関する研究
- 点接触における電子トンネル効果の熱起電力
- SThMによる熱伝導率計測法の性能評価
- T0502-1-2 ナノワット級代謝熱計測のための示差型バイオカロリメータの開発(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(1)バイオMEMS)
- 第2回国際伝熱フォーラム(IFHT2008)(東京)
- 340 MEMSを用いた微小熱分析技術の開発(T06-4 マイクロ・ナノ熱流体システム(4) 計測,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 日本伝熱学会学術賞を受賞して
- F212 薄膜サーモパイルセンサによる細胞の代謝熱モニタリング(バイオ・食品における輸送特性の測定1)
- MEMSセンサによる少数細胞の代謝熱モニタリング
- ポスターセッション報告記1
- Heat Transport Characteristics of Micro-Loop Heat Pipe with Capillary Pump Structure
- 走査型熱顕微鏡における能動式温度計測カンチレバーの高性能化
- マイクロチャンネル内スラグ流におけるガス吸収特性 : 第1報,CO_2/水系における実験的研究(熱工学,内燃機関,動力など)
- 干渉法を用いた水溶液凝固現象の微視的研究
- D-9 PLIFを用いたラム保炎器後流の温度・濃度場計測(燃焼1)
- W04(2)(b) 高クヌッセン数流れと固体表面の相互作用の実験的解明(高クヌッセン数流れの総合的解明)
- C122 DFTによるDMFCアノード触媒反応の解析(OS-11 ナノスケール伝熱II)
- 914 レーザーアブレーションのMDシミュレーション(J14-1 量子・分子熱流体工学(1),J14 量子・分子熱流体工学,2005年度年次大会)
- レーザーアブレーションにおけるレーザープロファイルの影響(OS15b 熱流体の分子シミュレーション)
- 自励振動型ヒートパイプの動作限界の拡張(オーガナイズドセッション9 マイクロマシン/電子デバイスにおける伝熱問題)
- Pt触媒上のCO吸着分子の挙動(J11-3 量子・分子熱流体工学(3),J11 量子・分子熱流体工学)
- A121 密度汎関数法を用いた Pt 表面上での CO 分子の挙動に関する研究
- F1-2 撥水性壁面の流動抵抗低減効果と溶存気体の壁面核生成
- C232 熱物性シミュレーションのための非経験的分子間ポテンシャルの構築
- C120 熱物性シミュレーションのための分子間ポテンシャルの検討(新技術フォーラム-1 : 熱工学における量子力学)
- 2724 蒸気泡駆動型マイクロポンプの作動原理とその特性
- 熱物性シンポジウムに初めて参加して
- ダイナミック型氷蓄熱システムの蓄氷予測
- 半径方向に突起を持つ周方向フィンによる凝縮熱伝達促進 : 第2報, 理論的研究
- H123 MEMS カンチレバーセンサーによる微小熱計測の試み
- 水平管内凝縮に関する理論解析 : 層状流完全凝縮の場合
- 2成分蒸気の鉛直管内凝縮に関する研究
- 原子間力顕微鏡を用いた微小スケール温度場の計測
- T0501-5-2 MEMSサーモパイルセンサによるnW級バイオカロリメトリの研究([T0501-5]マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(5))
- T0501-4-4 カンチレバー型チップカロリメータによる熱質量分析([T0501-4]マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(4))
- 8・1・2 熱力学・熱物性(8・1 伝熱および熱力学,8.熱工学,機械工学年鑑)
- B142 マイクロマニピュレータチップと微小物体間に働く付着力の熱的制御性(OS-4:マイクロ・ナノ熱工学(II))
- 21007 マイクロマニピュレータ用メニスカスチップの研究(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(2),オーガナイズドセッション)
- 21002 高感度MEMSサーモパイルセンサを利用したバイオカロリメトリの研究(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- 21008 MEMSカンチレバーを用いた高速・高感度熱分析(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(2),オーガナイズドセッション)
- MNM-P4-3 付着力の熱的制御を用いたマイクロマニピュレーション(P4 ナノ・マイクロ異相界面センシングと制御)
- MNM-2A-1 MEMSを用いた複合熱分析法の研究 : SEM内熱分析実験(セッション 2A MEMSデバイスを用いた熱・流体計測,マイクロ・ナノ工学における非線形力学,電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
- 21001 MEMSセンサを用いた核沸騰熱伝達機構の研究 : 孤立気泡下のミクロ液膜厚さの評価(OS10 マイクロ・ナノ熱流体工学(1),オーガナイズドセッション)
- H131 水の孤立気泡核沸騰における熱伝達機構の研究(OS-2:沸騰・凝縮伝熱の最近の進展(III))
- MNM-P3-2 沸騰熱伝達研究へのMEMSセンサの応用(P3 デバイスを用いた熱・流体計測)
- 走査型熱顕微鏡による定量温度画像計測
- 第12回国際伝熱会議 : IHTC12
- 1・12・2 環境伝熱 1・12 新分野の伝熱 (1.伝熱)
- 1・12・1 新素材・生産プロセス 1・12 新分野の伝熱 (1.伝熱)
- Max Jakob 賞受賞者アーカイブ : 森康夫教授
- 23・4 マイクロ物理センサ(23.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- オーガナイズドセッションMEMS熱物性センサー