2813 薄膜-固体界面の境界熱抵抗と熱輸送特性
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概要
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Thermal boundary resistance, R_<bd>, at the interface of a thin film and substrate in the room temperature range was investigated using the reflectance thermometry. As the results, although the effects of a combination of a thin film and substrate on R_<bd> was not so large, the crystalline structure of thin film had a rather effect. As the mechanism of R_<bd>, it was pointed out that, in addition to the mismatch theory, the non-equilibrium between phonon and electron in the thin film near the interface could generate thermal resistance.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2000-07-31
著者
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