811 シリコンの表面応力と表面弾性定数
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概要
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Surface energy, surface stress and surface elastic constants are key parameter for predicting of the intrinsic stress of thin film. We have evaluated these surface properties for Si(100)1×1 surface and amorphous silicon surface by using molecular dynamics simulation (MD). The model predicts that the surface elastic constants are independent of film thickness (>1nm). Finally, we have investigated on how to apply the parameters calculated at the atomic level to continuum level.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-09-20
著者
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