MEMSマイクロミラーの強度信頼性解析(技術OS3-5 最適構造設計,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-07-20
著者
-
泉 聡志
東京大学大学院工学系研究科
-
鈴木 敦
日本信号(株)ビジョナリービジネスセンター
-
酒井 信介
東大工
-
泉 聡志
東大工
-
上田 譲
日本信号(株)ビジョナリービジネスセンター
-
ピン チャンウェー
東京大学大学院工学研究科
-
ピン チャンウェー
東大院
-
上田 譲
日本信号
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