111 MEMSマイクロミラーの強度へのICPエッチングダメージ及び荷重形態の影響(GS1 ナノ13)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-11-03
著者
-
泉 聡志
東京大学大学院工学系研究科
-
鈴木 敦
日本信号(株)ビジョナリービジネスセンター
-
酒井 信介
東大工
-
泉 聡志
東大工
-
山口 真
東京大学大学院工学系研究科
-
上田 譲
日本信号(株)ビジョナリービジネスセンター
-
上田 譲
日本信号(株)
-
笹尾 邦彦
東京大学大学院工学系研究科
-
山口 真
東大院
-
笹尾 邦彦
東大工
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