820 シリコンビームの強度評価用 MEMS サンプルの開発と微小荷重試験
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2003-09-23
著者
-
泉 聡志
東京大学大学院工学系研究科
-
酒井 信介
東大工
-
泉 聡志
東大工
-
酒井 信介
東大
-
上田 譲
日本信号(株)ビジョナリービジネスセンター
-
上田 譲
日本信号(株)
-
泉 聡志
東大
-
チャン ウエー
東大院
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