603 分子動力学法によるイオンシャワーエッチングシミュレータの作成

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2000-11-27

著者

• 泉 聡志

  東大工

• 酒井 信介

  東大院

• 原 祥太郎

  東大

• 原 祥太郎

  東大院

• 貝原 裕次郎

  東大院

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