反応性スパッタリングによるSiC_x膜の機械的性質
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Amorphous SiC_x (x≦0.85) films thicker than 1 μm were prepared by a magnetron-type reactive sputtering using a Si target and CH_4 gas. Microhardness (H_v), internal stress and adhesion strength by the scratch test were measured. The microhardness of SiC_<0.85> films prepared by this technique was intrinsically determined to be 22 GPa for 6μm-thick specimens. The microhardness for 1μm-thick SiC_x films also showed a relatively small increase with the carbon content to that for 6μm-thick SiC_x films. Compressive stresses (<3.2 GPa) were observed in all SiC_x films obtained in this work. The internal stress in the SiC_x films (0.2μm thick) was well correlated with the crack length induced with a Vickers indenter as a result of the thin-layer surface stress analysis. The critical load of the SiC_x・films (1μm thick) decreased with increasing internal stress.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1990-02-01
著者
-
鎌田 喜一郎
長岡技術科学大学工学部
-
田辺 伊佐雄
長岡技科大
-
林 範行
長岡技術科学大学
-
森山 実
長野工業高等専門学校
-
斎藤 則夫
長岡技術科学大学
-
田辺 伊佐雄
長岡技術科学大学
-
Tanaka O
Institute Of Pharmaceutical Sciences Faculty Of Medicine Hiroshima University
-
鎌田 喜一郎
長岡技術科学大学化学系
-
田辺 伊佐雄
長岡技術科学大学化学系
-
Tanaka O
Institute Of Pharmaceutical Sciences Hiroshima University School Of Medicine
-
鎌田 喜一郎
長岡技術科大学工学部
関連論文
- 高周波スパッタリングによるMgO薄膜の配向性と微細構造(セラミックスの微細構造)
- Identification of reaction products of 9-hydroxy-10-oxo-12(Z), 15(Z)-octadecadienoic acid (KODA) and norepinephrine that strongly induce flowering in Lemna
- HIPを利用した高密度ペロブスカイトLaNiO_3の作製
- 1E20 LaNiO_3 の焼結性
- 亜鉛アセチルアセトネートを用いた CVD 法による酸化亜鉛超微粉体の合成
- CVD 法による Y_2O_3,ZrO_2 及び安定化 ZrO_2 薄膜の合成
- CVD 法による高配向性 ZnO 薄膜の合成
- プラズマCVD法による硬質アモルファス窒化ホウ素膜の作製
- アセチルアセトンによるZn0膜のエッチング
- プラズマCVD法によるSiN_xC_y膜の熱的安定性
- 3B08 CVD 法による ZnO 薄膜の合成
- 3B05 ECR 型プラズマ CVD 法による炭素膜の合成
- 反応性スパッタリングによるSiC_x膜の機械的性質
- プラズマCVD-SiNxCy膜のEPMAによる組成分析
- HIPによる金属表面上へのセラミックスコーティング
- 718 HIP による金属表面上へのセラミックスコーティング(セラミックス : 焼結, 破壊特性, 被覆, 萌芽・境界技術, 日本鉄鋼協会第 114 回(秋季)講演大会)
- Sweet Cucurbitane Glycosides from Fruits of Siraitia siamensis (chi-zi luo-han-guo), a Chinese Folk Medicine(Organic Chemistry)
- PC76 SOLUBILIZATION OF SAIKOSAPONIN-a AND α-TOCOPHEROL WITH PLANT GLYCOSIDES
- RETICULOENDOTHELIAL SYSTEM ACTIVATING POLYSACCHARIDES FROM Panax SPP : P. notoginseng, P. ginseng and P. japonicus
- Saponins of Plants of Panax Species Collected in Central Nepal, and Their Chemotaxonomical Significance. III.
- Bioactive Saponins and Glycosides. XI. Structures of New Dammarane-Type Triterpene Oligoglycosides, Quinquenosides I, II, III, IV, and V, from American Ginseng, the Roots of Panax quinquefolium L.
- Bioactive Saponins and Glycosides. IX. Notoginseng (2) : Structures of Five New Dammarane-Type Triterpene Oligoglycosides, Notoginsenosides-E, -G, -H, -I, and -J, and a Novel Acetylenic Fatty Acid Glycoside, Notoginsenic Acid β-Sophoroside, from the Dried
- Bioactive Saponins and Glycosides. VIII. Notoginseng (1) : New Dammarane-Type Triterpene Oligoglycosides, Notoginsenosides-A, -B, -C, and -D, from the Dried Root of Panax notoginseng (BURK.) F. H. CHEN
- TiN-TiB_2系常圧焼結体の機械的及び電気的特性
- プラズマ CVD 法による Si_3N_4-SiC 系薄膜の直流電気伝導特性
- 各種焼結助剤添加ホットプレスTiNセラミックスの機械的特性
- ECRプラズマCVD法による硬質炭素膜の合成 (超薄膜--その機能と制御)
- ECR型プラズマCVD法により合成された炭素薄膜の表面組織とプラズマ発光スペクトル強度
- ホットプレス法による窒化チタンセラミックスの強度及び電気的特性
- ホットプレス法によるTiNセラミックスの特性--焼結助剤添加の影響
- 高周波プラズマCVD法による炭素膜へのバイアス効果
- アセチルアセトンによるMgO薄膜のエッチング
- Effects of Spaceflight on Enzyme Activities and Ultrastructure of Fast-Type Skeletal Muscles of Rats
- A-band Movement and Junctional Gap Dissociation during Caffeine-induced Contracture of Skeletal Muscle Fibers
- 21世紀の技術者に必要な工業英語教育に向けて : 全国高専のアンケート調査結果
- Study on Improvement of Sweetness of Steviol Bisglycosides: Selective Enzymic Transglucosylation of the 13-O-Glycosyl Moiety
- 527 高電圧光起電力効果シミュレーションモデル(画像処理・応用光学)
- カーボンナノ材料の分散とコンポジットへの応用
- Substrate Specificity of Glycyrrhizinic Acid Hydrolase(Organic Chemistry)
- 炭素工具鋼の機械的性質に及ぼす熱処理の影響
- 真空下におけるTiN粉末の焼結とその特性
- 電気炉温度管理システムの開発
- 浸炭焼入れに及ぼす熱処理の影響
- Al-Mg-Si合金の機械的性質に及ぼす希土類元素添加の影響
- 構造用合金鋼(SNCM-439)の焼入性に及ぼす恒温保持の影響
- アルミナ,マグネシア及びスピネルセラミックス焼結体の合成と強度
- Morphological analysis of neural tube defects : Chlorambucil-induced exencephaly in mice
- Identification and Quantification of 20(S)-Protopanaxatriol and its 20S, 24S-Epoxide in Human Urine with the Treatment of A1kaline Cleavage after the Ingestion of Sanchi Ginseng, the Roots of Panax notoginseng(三七人参)
- Antimicrobial Activities of Saponins of Pericarps of Sapindus mukurossi on Dermatophytes
- Inhibition of Aldose Reductase and Sorbitol Accumulation by Astilbin and Taxifolin Dihydroflavonols in Engelhardtia chrysolepis
- Studies of the Constituents of Astragalus membranaceus BUNGE. III. Structure of Triterpenoidal Glycosides, Huangqiyenins A and B, from the Leaves
- Protection against Oxidative Damage by Dihydroflavonols in Engelhardtia chrysolepis
- Sweetness of Glycyrrhetic Acid 3-O-β-D-Monoglucuronide and the Related Glycosides
- Enzymic Production of Sweet Stevioside Derivatives : Transglucosylation by Glucosidases(Organic Chemistry)
- Further Study on the 1,4-α-Transglucosylation of Rubusoside, a Sweet Steviol-Bisglucoside from Rubus suavissimus(Organic Chemistry)
- Production of Stevioside and Rubusoside Derivatives by Transfructosylation of β-Fructofuranosidase(Biological Chemistry)
- Chemical Studies on Fuku-bon-shi : a Dimer of Glucosyl Esters of 19α-Hydroxyursolic Acid Derivatives from Rubus coreanus and its Significance for Identification of the Source Plants
- Production of Rubusoside Derivatives by Transgalactosylation of Various α-Galactosidases(Biological Chemistry)
- Production of Rubusoside Derivatives by Transgalactosylation of Various β-Galactosidases(Biological Chemistry)
- Enzymic Transglucosylation Products of Stevioside: Separation and Sweetness-evaluation(Food & Nutrition)
- BIOLOGICALLY ACTIVE POLYSACCHARIDE FROM SANCHIGINSENG, ROOTS OF PANAX NOTOGINSENG
- Rubusoside (β-D-Glucosyl Ester of 13-O-β-D-Glucosyl-steviol), a Sweet Principle of Rubus chingii Hu (Rosaceae)
- 準安定オ-ステナイト領域で中間保持後恒温変態した構造用合金鋼(SNCM-439)の電子顕微鏡観察
- 構造用合金鋼(SNCM-439)の恒温変態に及ぼす準安定オ-ステナイト保持時間の影響
- 構造用合金鋼(SNCM-439)の恒温変態曲線に及ぼす鍛造焼入れの影響
- 構造用合金鋼(SNCM-439)のMs点に及ぼす鍛造焼入れの影響
- レーザーCVDによるTiO_2膜の合成
- ホットプレス法によるTiB_2-ZrB_2系セラミックス焼結体の作製とその機械的特性
- TiNとB_4C粉末の固相反応を利用したホットプレス法による高強度 TiB_2-TiN_xC_y複合焼結体の作製とその機械的特性
- Isolation of Protoplast from Aerial Mycelia and Fruit-Body Formation from Regenerated Mycelia in Pleurotus cornucopiae
- Improvement of the Aluminum Borate Whisker-Mediated Method of DNA Delivery into Rice Callus(Cell and Molecular Biology)
- Plant regeneration in Actinidia polygama Miq. by leaf, stem, and petiole culture with zeatin, and from stem-derived calli on low-sucrose medium
- Varietal Differences in the Morphophysiological Response to Atmospheric Humidity in Rice
- Studies on the Effect of the Relative Humidity of the Atmosphere on the Growth and Physiology of Rice Plants : Effects of relative humidity during the light and dark periods on the growth
- Aluminium Borate Whisker-Mediated DNA Delivery into Callus of Rice and Production of Transgenic Rice Plant
- Inhibition of Flower Induction by Some Inhibitors of Protease in the Short-day Plant Lemna paucicostata 6746 and the Long-day Plant Lemna gibba G3
- セラミックスコ-ティングによる基体の強化
- Comparison between Induction of Flowering by Nitrogen Deficiency and that by Short Days or Continuous Irradiation with Blue or Low-Intensity White Light in Lemna paucicostata 6746
- 軽イオンビ-ム照射したステンレス鋼のEPMAによる組成分析
- プラズマCVD法によるSi_3N_4-SiC系非晶質膜の軽イオンビーム照射損傷
- Effects of Exogenous Amino Acids on Iron Uptake in Relation to their Effects on Photoperiodic Flowering in Lemna paucicostata 6746
- Measurement of Endogenous Phosphorus Levels in Relation to Flowering in the Long-Day Plant Lemna gibba G3
- プラズマCVD法によるSi_3N_4-SiC系セラミックス薄膜の合成
- Flower Induction by Suppression of Nitrate Assimilation in Lemna paucicostata 6746
- PHOTOPERIODIC FLOWERING OF CUSCUTAJAPONICA
- Photoperiodic Flowering of Cuscuta japonica Cultured In Vitro
- Identification of a Component that Induces Flowering of Lemna among the Reaction Products of α-Ketol Linolenic Acid (FIF) and Norepinephrine
- CHEMICAL STRUCTURE OF THE MAJOR COMPONENTS OF REACTANTS BETWEEN FIF AND NOREPINEPHRINE WHICH STRONGLY INDUCE FLOWER FORMATION OF LEMNA
- B_4CとTiN粉末の反応によるTiB_2-TiN_xC_y複合焼結体の作製とその機械的特性
- 無電解金属皮膜抵抗器の特性に及ぼすめっき液処理の影響
- TiB_2-B_4C系複合セラミックスの焼結助剤に関する研究
- TiN-TiAl複合体の機械的特性
- ホットプレス法による高強度TiB_2-B_4C系セラミックス焼結体の機械的及び電気的特性
- 常圧焼結TiNセラミックスの機械的及び電気的特性に及ぼすCIP成形圧の影
- 亜共析炭素鋼の熱処理組織と強度特性
- フェライト磁石の作製とその評価 : 学生実験
- ホットプレス法によるTiB2-ZrB2系セラミックス焼結体の作製とその機械的特性
- 小中学生を対象とした「メカトロニクスと物造り体験実習」
- ホットプレス法によるTiNセラミックスの特性--焼結助剤添加の影響
- ホットプレス法によるTiB2-ZrB2系セラミックス焼結体の作製とその機械的特性