プラズマCVD法によるSi_3N_4-SiC系非晶質膜の軽イオンビーム照射損傷
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概要
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- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1987-06-01
著者
-
八井 浄
長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター
-
八井 浄
長岡技術科学大学 極限エネルギー密度工学研究センター
-
森山 実
長野工業高等専門学校
-
Tanaka O
Institute Of Pharmaceutical Sciences Faculty Of Medicine Hiroshima University
-
鎌田 喜一郎
長岡技術科学大学化学系
-
菅野 昌義
長岡技術科学大学工学部
-
相次 尚良
長岡技術科学大学工学部
-
Tanaka O
Institute Of Pharmaceutical Sciences Hiroshima University School Of Medicine
-
鎌田 喜一郎
長岡技術科大学工学部
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