Effects of He Ambient on Formation of Si Particles Using Pulsed Ion-Beam Evaporation
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概要
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A pulsed ion-beam evaporation (IBE) technique is used to ablate Si species from bulk Si target onto quartz substrates. Large round-shaped droplets up to a few μm are predominantly formed in vacuum, whereas introduction of He gas could result in formation of particles with decreased size up to a few hundreds nm. A slight oxidation of Si particles is found even in vacuum condition, revealed by surface composition analysis using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Note that the presence of He ambient obviously promotes the oxidation of as-deposited Si species. The changes in morphology and composition of formed Si particles are attributable to an enhanced interaction between ablated Si plume and the ambient gas with an increased pressure.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2006-09-01
著者
-
八井 浄
長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター
-
SUEMATSU Hisayuki
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
ZHU Xiaopeng
Surface Engineering Laboratory, School of Materials Science and Engineering, Dalian University of Te
-
JIANG Weihua
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
YATSUI Kiyoshi
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
末松 久幸
長岡技科大
-
Jiang W
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Jiang Weihua
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Zhu Xiaopeng
Surface Engineering Laboratory School Of Materials Science And Engineering Dalian University Of Tech
-
Yatsui K
Nagaoka Univ. Technol. Niigata Jpn
-
Yatsui K
Technological Univ. Nagaoka Nagaoka Jpn
-
Yatsui Kiyoshi
Laboratory Of Beam Technology Department Of Electrical Engineering Nagaoka University Of Technology
-
Yatsui Kiyoshi
Laboratory Of Beam Technology The Technological University Of Nagaoka
-
Suematsu Hisayuki
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Yatsui Kiyoshi
Extreme Energy Density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Yatsui K
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
八井 浄
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Suematsu Hisayuki
Extreme Energy-density Res. Inst. Nagaoka Univ. Of Technol.
-
Yamashita Kazuki
Department Of Electrical And Electronic Engineering Niigata University
-
Shishido H
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Jiang Weihua
Extreme Energy Density Research Institute, Nagaoka University of Technology, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan
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