Pulsed High-Current Generator for EUV Source Development
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概要
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A repetitive pulsed high current generator has been developed and tested. It has been developed for generation of high-density plasma as an extreme ultraviolet (EUV) source. This generator has a peak output of current over 40 kA with a pulse width of less than 400 ns. The generator consists of a semiconductor switch and a magnetic pulse compression (MPC) unit. This paper reports the design details of the circuit and the magnetic switches.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2005-01-01
著者
-
八井 浄
長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター
-
JIANG Weihua
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
YATSUI Kiyoshi
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
Jiang W
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Jiang Weihua
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Yatsui K
Technological Univ. Nagaoka Nagaoka Jpn
-
Yatsui Kiyoshi
Laboratory Of Beam Technology Department Of Electrical Engineering Nagaoka University Of Technology
-
Yatsui Kiyoshi
Laboratory Of Beam Technology And Department Of Electrical Engineering Nagaoka University Of Technol
-
OSHIMA Nobuaki
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
TOKUCHI Akira
Nichicon Corporation
-
KUBOTA Yugo
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
YOKOO Tomoyuki
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
SHIMADA Kazuya
Nichicon Corporation
-
Yatsui Kiyoshi
Extreme Energy Density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
OSHIMA Nobuaki
Nagaoka University of Technology
-
Yatsui K
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Tokuchi A
Nichicon Corporation
-
Kubota Yugo
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Oshima Nobuaki
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
八井 浄
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Yamashita Kazuki
Department Of Electrical And Electronic Engineering Niigata University
-
Jiang Weihua
Extreme Energy Density Research Institute, Nagaoka University of Technology, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan
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