Characterization of Pulsed High-Current Generator for Extreme Ultraviolet Generation
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概要
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The characteristics of a pulsed high-current generator has been studied for applications in extreme ultraviolet (EUV) generation. The objective is to clarify the electrical response of the generator circuit to the dynamic behavior of the discharge load. The experiments were carried out by driving a capillary discharge, where the plasma behavior is monitored by using high-speed camera and photodiodes. The generator performance is monitored by voltage and current probes. From the diagnostic results, the behavior of the last magnetic switch has become clear and the electrical efficiency of the generator system is obtained. The energy deposited in the capillary is calculated to be 4.5 J and the temporary plasma impedance at the peak current is observed to be 40 mΩ.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2007-03-01
著者
-
八井 浄
長岡技術科学大学極限エネルギー密度工学研究センター
-
JIANG Weihua
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
YATSUI Kiyoshi
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
Jiang W
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Jiang Weihua
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Yatsui K
Nagaoka Univ. Technol. Niigata Jpn
-
Yatsui K
Technological Univ. Nagaoka Nagaoka Jpn
-
Yatsui Kiyoshi
Laboratory Of Beam Technology Department Of Electrical Engineering Nagaoka University Of Technology
-
Yatsui Kiyoshi
Laboratory Of Beam Technology The Technological University Of Nagaoka
-
Yatsui Kiyoshi
Laboratory Of Beam Technology And Department Of Electrical Engineering Nagaoka University Of Technol
-
OSHIMA Nobuaki
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
INOKUCHI Syouichi
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
KIMURA Toru
Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology
-
TOKUCHI Akira
Nichicon Corporation
-
Yatsui Kiyoshi
Extreme Energy Density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
OSHIMA Nobuaki
Nagaoka University of Technology
-
Yatsui K
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Tokuchi A
Nichicon Corporation
-
Oshima Nobuaki
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
八井 浄
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Yamashita Kazuki
Department Of Electrical And Electronic Engineering Niigata University
-
Kimura Toru
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Inokuchi Syouichi
Extreme Energy-density Research Institute Nagaoka University Of Technology
-
Jiang Weihua
Extreme Energy Density Research Institute, Nagaoka University of Technology, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan
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