20aPS-30 AES と RHEED ロッキング曲線による 6H-SiC(0001) (√3×√3)-R30°と 3×3 表面の酸化初期過程の研究

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2003-08-15

著者

• 一宮 彪彦

  名大工

• 一宮 彪彦

  名大院工

• 青山 朋弘

  名大工

• 久田 祥之

  デンソー基礎研

• 向中野 信一

  デンソー基礎研

• 青山 朋弘

  名大院工

• 一宮 彪彦

  名古屋大学工学部

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