7a-X-5 極微小角入射X線回折法を用いたSiおよびAg/Si界面の格子歪測定

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-09-16

著者

• 張 小威

  高エネ研物構研

• 一宮 彪彦

  名大工

• 秋本 晃一

  名大院工

• 張 小威

  高エ研

• 秋本 晃一

  名工大

• 秋本 晃一

  名大工

• 平野 馨一

  高エ研 PF

• 一宮 彪彦

  名古屋大学工学部

• 榎本 貴志

  名大工

• 榎本 貴志

  豊田工業高専

• 平野 馨一

  高エ研

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