原子単位での加工とその機構(<特集>「超」を実現するテクノロジー)
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概要
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- 社団法人精密工学会の論文
- 1993-01-05
著者
-
小林 中
金沢工大 工
-
小林 中
新技術事業団 青野原子制御表面プロジェクト
-
青野 正和
理化学研究所
-
内田 裕久
新技術事業団青野原子制御プロジェクト
-
HUANG De-Huan
新技術事業団青野原子制御プロジェクト
-
GREY Francois
新技術事業団青野原子制御プロジェクト
-
内田 裕久
豊橋技術科学大学
-
内田 裕久
豊橋技科大
-
GREY Francois
デンマーク工科大学マイクロエレクトロニクスセンター
-
Grey F
新技術事業団青野原子制御表面プロジェクト
-
Grey F
デンマーク工科大学マイクロエレクトロニクスセンター
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