エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用(材料デバイスサマーミーティング)
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概要
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本研究は,エアロゾルデポジッション(Aerosol deposition:AD)法を用いて,数μm以上の厚さをもつPLZT[(Pb_<0.91>,La_<0.09>)(Zr_<0.65>,Ti_<0.35>)O_3]膜を組み込んだマイクロキャビティ電気光学(Electro-optic:EO)変調器を形成し,これを空間光変調器(Spatial light modulator:SLM)に応用しようとするものである.PLZT膜を組み込んだマイクロキャビティEO変調器は,電界の印加で光局在波長が変化するので,これを利用した光強度変調ができる.実際,作製した変調器は,PLZT膜に400kV/cmの電界印加によって,光局在波長を約1nmシフトさせることができ,その結果,波長777nmで反射率変化7.2%を得た.このマイクロキャビティEO変調器の上部ITO透明電極をピクセル状にパターン化して,2×2 EOSLMを形成した.400kV/cmの電界を印加することで,ピクセルイメージの反射光輝度変化を確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-06-12
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