圧電駆動型磁気光学空間光変調器のための光反射膜に関する研究(材料デバイスサマーミーティング)
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概要
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磁気光学空間光変調器(MOSLM)は,二次元の光信号の強度や位相を高速に変調することが可能なデバイスである.我々は圧電体により駆動するMOSLMの高性能化のために,反射型磁性フォトニック結晶(MPC)と組み合わせることを検討してきた.反射型MPCを利用した圧電駆動型MOSLMは,圧電体であるPZT膜と反射型MPCをハイブリット化して電圧で駆動させる.反射型MPCには光反射膜が必要になるが,この光反射膜の光学特性がPZT成膜に伴う熱処理で劣化することでMPC性能が著しく低下する問題があった.そこで本研究では反射型MOSLMの高性能化のために,高い反射率を持つ金属材料であるAgと誘電体を積層した構造である誘電体ミラーの耐熱性を光学特性の観点から検討した.熱処理後の反射率を評価した結果,反射型MPCの高性能化のためには誘電体ミラーが適していることがわかった.
- 2009-06-12
著者
-
井上 光輝
豊橋技術科学大学
-
加藤 武紀
豊橋技術科学大学
-
水戸 慎一郎
豊橋技術科学大学
-
高木 宏幸
豊田工業高等専門学校
-
金 周映
豊橋技術科学大学
-
金 周映
豊橋技術科学大学工学部環境生命工学系
-
加藤 武紀
豊橋技科大
-
高木 宏幸
豊橋技術科学大学
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