マルチフェロイック空間光変調器の光変調機能とPLZT薄膜の形成(光記録技術・電子材料,一般)
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概要
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近年の光情報技術の急速な発展に伴い,超高速で駆動する低消費電力駆動型の空間光変調デバイス(Spatial Light Modulator : SLM)が必要とされている.このような応用に適したSLMとして,磁性フォトニック結晶(Magnetophotonic Crystal : MPC)の構造を有する,磁気光学空間光変調器(Magneto-Optic Spatial Light Modulator : MOSLM)がある.MPCとは2つの誘電体多層膜間に磁性材料を欠陥層として挟んだ光学媒体であり,磁気光学(Magneto-Optic : MO)効果を増大させることができる.磁化方向を誘導磁界で制御する電流駆動型のi-MOSLMには発熱の問題があった.これを解決するために,MPCの欠陥層に電気光学(Electro-Optic : EO)材料を挿入し,欠陥層内部の光の位相をわずかに変化させることで,光の偏光面を制御するe-MOSLMが最近提案された.e-MOSLMは1V以下という低電圧駆動が可能であり,i-MOSLMの発熱の問題を解決できることが期待される.本稿では,マトリックスアプローチ法を用いたe-MOSLMの欠陥層の複屈折率変化による偏光面の回転角変調および位相変調の解析結果と,EO材料であるPLZT膜のマグネトロンスパッタ法による形成方法,および電界を印加したときの位相変調特性について報告する.
- 2010-09-03
著者
-
井上 光輝
豊橋技術科学大学
-
高木 宏幸
豊田工業高等専門学校
-
久米 章博
豊橋技術科学大学
-
後藤 太一
豊橋技術科学大学
-
佐藤 洋
豊橋技術科学大学
-
高木 宏幸
豊橋技術科学大学
-
後藤 太一
Toyohashi University of Technology
-
高木 宏幸
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
-
高木 宏幸
豊橋技術科学大学大学院工学研究科
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