エアロゾルデポジッション法によるPLZT薄膜を用いた電気光学光変調器の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We investigated a fabrication process and optical properties of electro-optic (EO) light modulators with Fabry-Perot structure, which consisted of PLZT [(Pb0.91, La0.09)(Zr0.65, Ti0.35)O3] thick films by aerosol deposition method. A supernatant elimination process for small size PLZT powder with diameter of 0.125-0.175 μm was effective in order to obtain a transparent film. In the fabricated Fabry-Perot type EO light modulator with a ITO (Indium Tin Oxide))/PLZT/ITO defect layer, a wavelength of resonant localized mode was shifted about 1.0 nm from 788 nm by applying an electric field of +400 kV/cm in reflectance mode, and consequently the reflectance difference of 7.2 % was observed. The Fabry-Perot type EO light modulator had the advantage of contrast of light in the reflection mode.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2009-06-01
著者
関連論文
- コバルトを添加した酸化チタン薄膜の作製とその磁気特性
- 波長可変レーザー光源を用いた磁気光学式顕微鏡の開発
- テンプレートを用いた2次元磁性フォトニック結晶の形成と光特性
- 光アシストソフト溶液プロセスによる酸化物膜の作製と物性
- 圧電駆動型磁気光学空間光変調器のための光反射膜に関する研究(材料デバイスサマーミーティング)
- 電子線露光法で作製した周期配列Auナノ粒子による磁性ガーネットの磁気光学効果の増大
- AuおよびAg微粒子,Au-Ag合金微粒子と複合化した磁性ガーネット薄膜の磁気光学効果
- エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用(材料デバイスサマーミーティング)
- エアロゾルデポジッション法によるPLZT薄膜を用いた電気光学光変調器の検討
- ナノスケールで構造を人為的に操作した磁性体の光機能と応用
- Auナノ粒子を用いた磁性ガーネット薄膜の磁気光学効果のエンハンスメント
- 磁性ガーネット膜を用いた磁気ホログラム記録
- 貴金属(Au,Ag,Pt)ナノ粒子を埋め込んだ磁性ガーネット薄膜の局在表面プラズモン共鳴と磁気光学応答(光部品の実装・信頼性,一般)
- エアロゾルデポジション法によるマルチフェロイック膜の形成と評価
- 磁気光学空間光変調器のPoly-Si TFTによるアクティブマトリクス駆動の動作検討(シリコン関連材料の作製と評価)
- プレーナ型デバイスの作製と電気および光学特性の評価
- ナノ構造磁性体の光・高周波機能 : プラズモンアシスト磁性フォトニクスとマグノニック結晶
- 電圧パルスによって誘発されたAu(111)表面上での局所的な原子拡散
- 磁性膜と表面弾性波素子を用いたセンシング技術
- 磁性フォトニック結晶の光学および磁気光学効果に関する理論的計算
- 2次元磁性フォトニック結晶デバイス形成のためのポーラスアルミナテンプレートの作製
- 自己組織化法を用いた3次元磁性フォトニック結晶の作製と特性
- 2次元磁性フォトニック結晶の作製
- 電圧駆動型磁気光学SLMの開発
- FePt-SiO_2薄膜における磁気光学効果の測定
- 磁性薄膜多層構造を持つ1次元磁性フォトニック結晶の磁気光学効果
- エレクトロンバンチングによる磁気表面弾性波増幅の試み
- 二次元磁性フォトニック結晶の作製
- 低温フェライトめっき技術の磁気マイクロマシンへの応用
- イオンビームスパッタ法による(111)単配向InSb薄膜の形成と磁気表面弾性波増幅への応用 II
- 低電圧駆動型磁気光学空間光変調器の開発
- 斜めスパッタCo膜の磁気異方性と磁気抵抗効果
- 反射型フォトニック結晶のための磁性ガーネット膜の検討
- 磁気反発型振動リミットスイッチにおける動作時の振動パラメータの導出(計測・高周波デバイス)
- 熱磁気駆動方式の磁気光学式空間光変調器の開発
- コンタクトエピによる石英基板上への磁気光学薄膜形成
- 磁気光学効果を用いた固体空間光変調器
- ウェットプロセスによる金属-高分子コンポジット薄膜の作製
- 金属-絶縁物同時電析法による金属-絶縁物グラニュラ薄膜の作製
- ポリオール法によるFe-Pt超微粒子の合成と金属-絶縁体複合薄膜の作製
- 金属-酸化物同時電析法によるFe-Ce-Oグラニュラ薄膜の作製
- 錯化剤を添加した金属-酸化物同時電析法によるCo-Ce-O薄膜の作製
- 金属一酸化物同時電析法によるCo-Ce-O薄膜の作製
- 集束イオンビーム加工を用いた2次元磁性フォトニック結晶ベース光導波路サーキュレータの形成と特性
- 有限要素法を用いた2次元磁性フォトニック結晶ベース光導波路サーキュレータの特性解析と構造設計
- 1次元マグノニック結晶を用いた磁界センシング
- バイオセンシングへの応用を目的とした金属表面をもつ一次元磁性フォトニック結晶の形成と光学・磁気光学特性
- エアロゾル・デポジッション法による常磁性ガーネット膜の形成とその短波長ファラデー素子への応用
- 金属強磁性薄膜を用いた空間光変調器の熱磁気シミュレーション
- 圧電駆動型磁気光学空間光変調器のための光反射膜に関する研究(材料デバイスサマーミーティング)
- 圧電駆動型磁気光学空間光変調器のための光反射膜に関する研究(材料デバイスサマーミーティング)
- 固相反応法によるYIG薄膜の作製と静磁波バンドギャップマテリアルへの応用
- 磁性フォトニック結晶を用いた空間光位相変調デバイス
- ゾルゲル法によるBi:YIG/SiO_2積層膜の形成と磁気及び磁気光学特性(光部品の実装・信頼性,一般)
- ゾルゲル法によるBi:YIG/SiO_2積層膜の形成と磁気及び磁気光学特性(光部品の実装・信頼性,一般)
- ゾルゲル法によるBi:YIG/SiO_2積層膜の形成と磁気及び磁気光学特性(光部品の実装・信頼性,一般)
- 1次元磁性フォトニック結晶を用いた電圧駆動磁気光学空間光位相変調器のためのガーネット膜検討
- 磁気光学効果を用いた空間光変調器のピクセルグルーブ深さの効果
- 一次元磁性フォトニック結晶中のタム状態の実験的観測
- 磁気光学効果測定装置の開発とプラズモニック磁気光学材料の評価
- オパールを用いた3次元磁性フォトニック結晶の作製
- 磁性ガーネット膜の解像度とコリニア磁気ホログラム
- 赤色領域で動作する磁性フォトニック結晶の形成と空間光変調器への応用
- YIG単結晶基板を用いた静磁表面波バンドギャップ材料の形成と静磁表面波伝搬特性
- エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用(材料デバイスサマーミーティング)
- 反射型磁性フォトニック結晶の特性 : 磁気光学・光磁気記録
- コリニア方式による磁性ガーネットヘの熱磁気ホログラム記録(光記録技術・電子材料,一般)
- 圧電体薄膜上への低温多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製(光記録技術・電子材料,一般)
- マルチフェロイック空間光変調器の光変調機能とPLZT薄膜の形成(光記録技術・電子材料,一般)
- AD法によるPZT膜の熱処理温度低温化の検討
- Bi置換YIG膜を用いた1次元磁性フォトニック結晶の作製と特性
- 希土類鉄ガーネット薄膜を用いた1次元磁性フォトニック結晶
- 希土類鉄ガーネット薄膜を用いた1次元磁性フォトニック結晶
- 希土類鉄ガーネット薄膜を用いた1次元磁性フォトニック結晶
- 希土類鉄ガーネット薄膜を用いた1次元磁性フォトニック結晶
- CoSmOグラニュラー薄膜の磁気光学効果と1次元磁性フォトニック結晶への応用
- マイクロ・アクチュエータ用希土類・鉄系アモルファス合金スパッタ膜
- マイクロアクチュエータ用高磁歪軟磁性薄膜
- 軟磁性高磁歪Tb-Ho-Fe系アモルファス合金スパッタ薄膜
- 軟磁性高磁歪Tb-Ho-Fe系アモルファス合金スパッタ薄膜
- エアロゾルデポジッション法によるPLZT厚膜の形成と電気光学空間光変調器への応用(材料デバイスサマーミーティング)
- 磁性ガーネットを用いた電流駆動空間光変調デバイスの開発
- エアロゾルデポジション法と磁気光学式空間光変調器
- 機能性磁性材料の光・高周波応用
- ミスト熱分解法による鉛ヘキサフェライト微粒子の直接合成
- 磁性ガーネット膜を用いたコリニア磁気ホログラム
- ホログラムメモリ用MO空間光変調器の開発とホログラム記録再生特性
- 磁気光学効果を用いた空間光変調器の開発とコリニア・ホログラフィへの応用II
- 磁気光学効果を用いた空間光変調器の開発とコリニア・ホログラフィへの応用II
- 磁気光学効果を用いた空間光変調器の開発とコリニア・ホログラフィへの応用II(光記録及び磁気記録一般)
- YIG薄膜における選択成長を用いた磁気分離法の数値解析
- 貴金属(Au,Ag,Pt)ナノ粒子を埋め込んだ磁性ガーネット薄膜の局在表面プラズモン共鳴と磁気光学応答(光部品の実装・信頼性,一般)
- 貴金属(Au,Ag,Pt)ナノ粒子を埋め込んだ磁性ガーネット薄膜の局在表面プラズモン共鳴と磁気光学応答(光部品の実装・信頼性,一般)
- PD3 SAWソリトンのための高感度位相測定光プローブ(ポスターセッション1-概要講演・展示)
- 柔軟基板上に形成した磁気弾性歪センサ
- 磁気弾性歪センサのスマートアクチュエータへの応用
- ポリイミド基板上に形成したFeCoSiB薄膜の磁気特性と歪検出特性
- 鉄基アモルファス膜のセンサ応用
- 斜めスパッタ薄膜下地層を用いたグラニュラー薄膜の軟磁性化
- イオンビームスパッタ法によって作製したFeNiエピタキシャル薄膜の結晶構造および磁気特性