圧電体薄膜上への低温多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製(光記録技術・電子材料,一般)
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概要
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磁気光学空間光変調器(magneto-optic spatial light modulator : MOSLM)は,磁気光学効果を利用して光の位相・偏光を二次元状に配列されたピクセル毎に制御するデバイスである.磁気光学効果は磁化の向きで制御できるため,nsオーダーの高速駆動が出来る.MOSLMのピクセルの磁化方位を制御する方法に,電流で発生した磁界を磁気光学膜に印加する方法があるが,高消費電力,発熱の問題があった.この問題を解決する方法として,圧電膜(チタン酸ジルコン酸鉛:PZT)ピクセルアレイを用いて反射型磁性フォトニック結晶(MPC)に応力を加えることで,逆磁歪効果で磁化方位を制御する圧電駆動型MOSLMの研究を行ってきた.しかし,以前の研究におけるPZTピクセルアレイの駆動方式はパッシブマトリクスであり,ピクセル数が大規模化した際に動作速度の低下やクロストークの問題が起こると考えられる.本研究では,PZTピクセルアレイをアクティブマトリクス駆動させるため,低温多結晶シリコン薄膜トランジスタ(poly-Si thin mm transistor : TFT)を作成し,諸特性を調べた.作製したTFTのドレイン電流は,PZTピクセルを数マイクロ秒オーダーで駆動するには不十分であったが,一方でブレイクダウン電庄は30V以上と圧電駆動型MOSLMを駆動するのに十分なものであった.今後はTFTを利用したアクティブマトリクス駆動の圧電駆動MOSLMを作成する.
- 2010-09-03
著者
-
井上 光輝
豊橋技術科学大学
-
水戸 慎一郎
豊橋技術科学大学
-
高木 宏幸
豊田工業高等専門学校
-
岡田 耕輔
豊橋技術科学大学
-
磯谷 亮介
豊橋技術科学大学
-
高木 宏幸
豊橋技術科学大学
-
井上 光輝
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
-
磯谷 亮介
Toyohashi University of Technology
-
高木 宏幸
豊橋技術科学大学電気・電子情報工学系
-
高木 宏幸
豊橋技術科学大学大学院工学研究科
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