ポリイミド基板上に形成したFeCoSiB薄膜の磁気特性と歪検出特性
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概要
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To make magnetoelastic strain sensors to be applied on crooked surfaces, patterned FeCoSiB films were formed on polyimide substrates 50μm thick by means of sputtering and photolithography. Excellent soft magnetic properties were obtained in the films by optimization of preparatory conditions. To detect the strain acting on a cantilever beam with an impedance change, the films were shaped into meander patterns. Static and dynamic strain detecting capabilities of the sensors were evaluated with the strain detecting circuit we developed. We demonstrated that the present magnetoelastic strain sensors can detect a strain as small as4×10^<-6>.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2000-04-15
著者
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