非経験的分子軌道法を用いた窒化物セラミックス薄膜形成における窒素分子と金属との反応解析
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概要
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- 社団法人精密工学会の論文
- 1996-07-05
著者
-
遠藤 勝義
大阪大学大学院工学研究科
-
遠藤 勝義
大阪大学大学院
-
中野 昭一
三洋電機(株)
-
中野 昭一
三洋電機株式会社ニューマテリアル研究所
-
津田 信哉
三洋電機(株)ニューマテリアル研究所
-
平野 均
三洋電機(株)
-
木山 精一
三洋電機(株)
-
堂本 洋一
三洋電機(株)
-
蔵本 慶一
三洋電機(株)
-
平野 均
三洋電機
-
中野 昭一
三洋電機
-
木山 精一
(株)三洋電機
-
木山 精一
三洋電機株式会社 株式会社ジーティシー
-
蔵本 慶一
三洋電機株式会社
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