反応メカニズムに基づいた異方性エッチングプロセスのコンピュータシミュレーション : 凸形および凹形コーナの仕上がり形状

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1994-05-05

著者

• 古川 勇二

  東京都立大学

• 平井 聖児

  東京都立工業高等専門学校

• 横川 宗彦

  東京都立大学

• 横川 宗彦

  東京都立大学:(現)工学院大学工学部

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