荷重によらず摩擦力一定な空気半浮上すべり面の特性
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概要
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前報で明らかにした設計手順に基づいて, 荷重補償機構を備えた空気半浮上すべり面のスケールモデルを設計・試作した.試作した空気半浮上すべり面は, しゅう動体上に加わる垂直荷重や送り速度に関係なく, 常にすべり面の摩擦力を一定に保つことができる.さらに付加的利点として, しゅう動体の垂直方向の浮上量は非常に小さく, まだ垂直および送り方向の剛性も大きく, さらに複数個の荷重補償機構を備えれば偏荷重やモーメント荷重に対するしゅう動体の姿勢変化を抑制できることが明らかになった.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1981-10-05
著者
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