SiN/AlN積層構造によるAlGaN/GaNヘテロ接合電界効果トランジスタの表面パッシベーション
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概要
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- 2008-06-06
著者
-
田中 成明
北陸先端科学技術大学院大学
-
鈴木 寿一
北陸先端科学技術大学院大 ナノマテリアルテクノロジーセ
-
住田 行常
株式会社 パウデック
-
河合 弘治
株式会社 パウデック
-
鈴木 寿一
北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルテクノロジーセンター
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