Al_2O_3-RuO_xハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討

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概要

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• 2012-06-11

著者

• 江刺 正喜

  東北大学wpi-aimr

• 西野 仁

  東北大学

• 吉田 慎哉

  東北大学WPI-AIMR

• 熊野 勝文

  東北大学μSIC

• 吉田 愼哉

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

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