熊野 勝文 | 東北大学μSIC

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概要

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• 同名の論文著者
• 東北大学μSICの論文著者

関連著者

• 江刺 正喜

  東北大学wpi-aimr

• 吉田 慎哉

  東北大学WPI-AIMR

• 熊野 勝文

  東北大学μSIC

• 吉田 愼哉

  東北大学原子分子材料科学高等研究機構

• 西野 仁

  東北大学

• 王 楠

  東北大学大学院工学研究科

著作論文

• Al_2O_3-RuO_xハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討
• MP-17 面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi鋳型を用いた高アスペクト比PZT構造体の作製法の開発(ポスターセッション)

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