センサ大化けの原動力MEMS技術 MEMSセンサ,半導体の"DNA"獲得で高性能,複合機能,高信頼へと進化 (NEプラス 最新技術を基礎から体系的に理解 機器開発者のためのセンサ工学)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日経BP社の論文
• 2008-04-07

著者

• 江刺 正喜

  東北大学wpi-aimr

関連論文

• 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術
• 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(水素・燃料電池,第13回動力・エネルギー技術シンポジウム)
• 小型収束超音波トランスデューサを用いた内視鏡的治療デバイス
• 345 集束超音波トランスデューサを用いた内視鏡的薬剤,遺伝子デリバリー(GS-6:一般セッション:医療・生体計測,オーガナイズドセッション1:生物流体とバイオミメティクス)
• C-2-52 LSIへの単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンドBAWフィルタの作製法(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
• 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
• 陽極化成とp^エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
• OS1-11 携帯型燃料電池用マイクロターボポンプ(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
• OS1-5 MEMS静圧軸受の高性能化(OS1 マイクロエネルギー変換,分散と集中の共存)
• 超音波センサを搭載した脊髄虚血モニタリングドレナージカテーテル
• 超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受 : 慣性気体軸受の特性に及ぼす運転温度の影響
• カテーテル実装に適した血管内MRIプローブの開発
• 非平面フォトファブリケーションによるカテーテル搭載型血管内MRIプローブの開発
• LSIへのデバイス構造貼り付けによる高周波MEMSスイッチの作製法
• 割込み型触覚センサシステムのためのLSI設計
• 高分子系鋳型を用いたゾルゲル法によるPZT構造体形成プロセスの開発
• 非平面微細加工技術を用いた細径能動屈曲電子内視鏡の作製
• マイクロマシニング・MEMS技術を用いた低侵襲医療機器の開発
• 光マイクロスキャナーの低侵襲医療への応用 (特集 光で/を動かす技術)
• マイクロ・ナノマシニング技術を用いた低侵襲医療機器の開発(低侵襲医療技術と精密工学)
• 円筒面レーザプロセスを用いた低侵襲医療機器の開発
• 安全安心をめざす,医療機器へのマイクロシステムの応用(安全・安心)
• 血管内前方視超音波イメージングプローブの開発
• 形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡
• 26.CCDカメラを搭載した能動カテーテル(平成17年度東北支部大会抄録)
• 25.形状記憶合金コイルと多段階磁気ラッチを用いた3次元ピンディスプレイの開発(平成17年度東北支部大会抄録)
• S0305-1-4 プロトン導電性電解質を用いた中低温作動マイクロSOFCの作製と発電特性(SOFC構成材料の信頼性(1))
• MEMS技術の変遷と応用
• D213 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
• イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
• カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
• MEMSデバイス : 実用化動向
• マイクロマシン/MEMSと信頼性(「信頼性・保全性・安全性の事例:機械装置とシステム編」〜信頼性ハンドブック出版から10年を経て〜)
• センサ大化けの原動力MEMS技術 MEMSセンサ,半導体の"DNA"獲得で高性能,複合機能,高信頼へと進化 (NEプラス 最新技術を基礎から体系的に理解 機器開発者のためのセンサ工学)
• 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
• カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
• 力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ
• MEMSの近接場光メモリーへの応用を目指して (特集 光MEMSの現状と展望)
• Low Actuation Voltage Capacitive Shunt RF-MEMS Switch Having a Corrugated Bridge(Passive Circuits/Components,Emerging Microwave Techniques)
• MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
• アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
• E114 超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受(OS1 マイクロエネルギー変換)
• ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
• 503 硬質膜のパターニング技術を用いた磁性材料のマイクロファブリケーション(OS8-(1) 精密微細加工と評価,オーガナイズドセッション)
• 多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
• MEMS技術
• 186 MEMS技術を用いたシリコンウェハー上への固体酸化物型燃料電池の構築(環境工学/動力エネルギーシステム)
• 使い捨て化と細径化を目指した形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡の開発
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
• MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング
• 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
• AS-2-3 転写法によるSAW基板上への強誘電体バラクタの集積化(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
• AS-2-5 薄膜転写技術を用いたオンチップマルチバンド圧電MEMSフィルタ(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
• AS-2-4 MEMS可変容量を集積化した可変SAWフィルタの開発(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)
• 高周波レーザドップラ振動計による圧電ディスク型共振子の振動モードの観察
• ECRプラズマを用いてスパッタ堆積したAlN薄膜の応力制御
• 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
• 燃料電池用MEMS水素センサのための受動的結露水除去構造
• MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング
• 使い捨て化と細径化を目指した形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡の開発
• 微細加工技術と光ファイバー技術を用いた低侵襲医療機器の開発
• マイクロシステム研究の経験から考える工学教育
• 汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作
• 25pTN-13 J-PARCミュオンg-2/EDM精密測定の為のミュオン源開発(2) : シリカエアロジェル標的のミュオニウム生成効率及び拡散のイメージング測定(25pTN X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 25pTN-12 J-PARCミュオンg-2/EDM精密測定の為のミュオン源開発(1) : MuSRによるミュオニウム標的の選別(25pTN X線・粒子線(中性子),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
• 713 高感度センシング用超薄シリコンカンチレバーのナノ機械特性に及ぼすガス吸着の影響(OS8-(3)オーガナイズドセッション《マイクロマシンとG-MEMS/N-MEMS》)
• 高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法
• 圧電・超音波材料 圧電音響デバイスの集積化 : 異種要素の集積化による圧電音響デバイスの高機能化・高性能化
• LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術 (特集 MEMSパッケージングと微細加工技術)
• Al_2O_3-RuO_xハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルプレートへの応用可能性の検討
• MP-17 面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi鋳型を用いた高アスペクト比PZT構造体の作製法の開発(ポスターセッション)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク