Character Projection Mask Set Optimization for Enhancing Throughput of MCC Projection Systems
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概要
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Character projection (CP) lithography is utilized for maskless lithography and is a potential for the future photomask manufacture because it can project ICs much faster than point beam projection or variable-shaped beam (VSB) projection. In this paper, we first present a projection mask set development methodology for multi-column-cell (MCC) systems, in which column-cells can project patterns in parallel with the CP and VSB lithographies. Next, we present an INLP (integer nonlinear programming) model as well as an ILP (integer linear programming) model for optimizing a CP mask set of an MCC projection system so that projection time is reduced. The experimental results show that our optimization has achieved 33.4% less projection time in the best case than a naive CP mask development approach. The experimental results indicate that our CP mask set optimization method has virtually increased cell pattern objects on CP masks and has decreased VSB projection so that it has achieved higher projection throughput than just parallelizing two column-cells with conventional CP masks.
- （社）電子情報通信学会の論文
- 2008-12-01
著者
-
Sugihara Makoto
Department of Cardiology, Fukuoka Tokushukai Medical center
-
Murakami Kazuaki
Department Of Electronics Engineering And Computer Science Fukuoka University
-
Murakami Kazuaki
The Authors Are With The Department Of Computer Science And Communication Engineering Kyushu Univers
-
Murakami K
Department Of Informatics Kyushu University
-
Sugihara M
Department Of Information And Computer Sciences Toyohashi University Of Technology
-
Sugihara Makoto
Department Of Cardiology Fukuoka Tokushukai Medical Center
-
Matsunaga Y
Fujitsu Laboratories Ltd.
-
Matsunaga Yusuke
Department Of Computer Science And Communication Engineering Kyushu University
-
Matsunaga Yusuke
Department Of Computer Science And Communication Engineering
-
Sugihara Makoto
Toyohashi Univ. Technol. Toyohashi‐shi Jpn
-
Murakami Kazuaki
Department Of Computer Science And Communication Engineering Kyushu University
-
Matsunaga Yusuke
Department Of Advanced Information Technology Faculty Of Information Science And Electrical Engineering Kyushu University
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