マグネトロンスパッタリング法によるLCD透明電極用不純物添加ZnO系透明導電膜の作製
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概要
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- 2009-01-29
著者
-
深田 晴己
金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
宮田 俊弘
金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
南 内嗣
金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
野本 淳一
金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
小長井 学
金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
深田 晴己
金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
南 内嗣
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宮田 俊弘
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野本 淳一
金沢工大 光電相互変換デバイスシステム研究開発セ
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宮田 俊弘
金沢工業大学
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金沢工業大学
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南 内嗣
金沢工業大学
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