スパッタ・コンビナトリアル成膜法による蛍光体薄膜の作製及び薄膜EL素子への応用

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概要

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• 2005-01-28

著者

• 宮田 俊弘

  金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター

• 南 内嗣

  金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステム研究開発センター

• 望月 優

  金沢工業大学0.E.デバイスシステムR&Dセンター

• 伊原 一彦

  金沢工業大学O. E. デバイスシステムR&Dセンター

• 宮田 俊弘

  金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステム研究開発センター

• 伊原 一彦

  金沢工業大学o.e.デバイスシステムr&dセンター

• 望月 優

  金沢工業大学 O.e.デバイスシステムr&dセンター

• 伊原 一彦

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• 宮田 俊弘

  金沢工業大学

• 南 内嗣

  金沢工業大学

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