EL素子作製プロセスへのECR水素プラズマを用いたRIEの応用 : 発光型ディスプレイ話題別研究会 : 情報ディスプレイ(<特集>発光型ディスプレイ特集)
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概要
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- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1990-01-19
著者
-
高田 新三
金沢工業大学
-
宮田 俊弘
金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
南 内嗣
金沢工業大学光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
高田 新三
金沢工業大学 電子デパイスシ
-
岩本 淳
金沢工業大学電子デバイスシステム研究所
-
南 内嗣
金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
宮田 俊弘
金沢工業大学 光電相互変換デバイスシステム研究開発センター
-
宮田 俊弘
金沢工業大学
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