外径70mmのコンフラットフランジにマウントした簡易型金属蒸着源の製作
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概要
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We introduce a simple evaporator for metal evaporation mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of a tantalum filament, an aluminum tube with a pinhole, and a four-pin feedthrough mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm.
- 日本真空協会の論文
- 2008-02-20
著者
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