外径70mmのコンフラットフランジにマウントしたミニチュア電子・イオン・軟X線検出器の製作
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概要
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We introduce a miniature electron/ion/soft-X-ray detector mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of an extraction/retarding electrode, microchannel plates, and a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. This detector can be used for measurements of electrons, ions, or soft-X-rays generated in the gas phase and those emitted from surfaces.
- 日本真空協会の論文
- 2007-09-20
著者
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