70mmコンフラットフランジマウント型加熱冷却機構付きシリコン単結晶ホルダー
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We introduce a silicon single crystal wafer holder with a cold trap and a direct current heating mechanism mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of 300-ml cold trap, tantalum electrodes for direct-current heating and commercial electrical feedthroughs. A silicon single crystal with a size of 30×5×0.5 mm can be heated to >1100 °C by direct heating, and can be cooled down to <100 K with liquid nitrogen.
- 日本真空協会の論文
- 2007-01-20
著者
-
垣内 拓大
愛媛大学理学部化学科
-
間瀬 一彦
高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
-
小林 英一
高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
-
南部 英
高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
-
垣内 拓大
総合研究大学院大学
-
間瀬 一彦
高エネルギー加速器研究機構
関連論文
- ビタミンEの再生反応における量子論的効果
- 23aTA-8 軟X線照射による^Cカーボンナノチューブからの原子脱離(23aTA 領域7,領域10合同 ナノチューブ・グラファイトにおける欠陥,領域7(分子性固体・有機導体))
- 高分解能オージェ電子-光電子コインシデンス分光, 電子-イオンコインシデンス分光兼用装置の開発
- シングルバンチ放射光とミニチュア円筒鏡型分析器(CMA)を用いた脱離イオンの質量と運動エネルギー分布の同時測定 : 凝縮NH_3の内殻励起誘起H^+脱離研究への応用
- 70mmコンフラットフランジマウント型加熱冷却機構付きシリコン単結晶ホルダー
- 25pPSB-39 電子-電子-イオンコインシデンス分光装置の開発と性能評価(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 25pPSB-38 電子-極角分解イオンコインシデンス分光法によるH_2O/Siの4a_1←O 1s共鳴励起誘起H^+脱離の研究 : H_2O/Si(111)とH_2O/Si(100)の比較(25pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 27aXJ-13 凝縮水、凝縮アンモニアの表面分子内殻共鳴励起、バルク分子内殻共鳴励起に由来するイオン脱離の比較(27aXJ 表面ダイナミックス(半導体表面),領域9(表面・界面,結晶成長))
- 外径70mmのコンフラットフランジにマウントした電子銃内蔵リトラクタブルオージェ電子分光器の製作と評価
- 21aPS-49 電子-極角分解イオンコインシデンス分光法によるH_2O/Si(111)の4a_1←0 1s共鳴励起誘起H^+脱離の研究(領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- ミニチュア円筒鏡型分析器(CMA)を用いた脱離イオンの運動エネルギー分布測定 : 凝縮H_2Oの内殻励起誘起H^+脱離研究への応用
- 27aWB-11 電子-極角分解イオンコインシデンス分光法を用いたH_20/Si(111)の内殻電子励起に由来するH^+脱離の研究(表面・界面構造, ダイナミクス,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- 24pWB-2 オージェー光電子コインシデンス分光による凝縮SiF_3CH_2CH_2Si(CH_3)_3のサイト選択的オージェ過程の研究(表面・界面電子物性,領域9(表面・界面, 結晶成長))
- 15aPS-31 CF70 マウント型円筒鏡分析器 (CMA) の開発と内殻励起誘起脱離イオンの運動エネルギー測定への応用(領域 9)
- 14pXF-8 電子-極角分解イオンコインシデンス分光法を用いた凝縮 NH_3 の内殻電子励起に由来する H^+ 脱離の研究(表面界面ダイナミクス, 領域 9)
- ミニチュア円筒鏡型電子エネルギー分析器(CMA)の製作と評価, オージェ-光電子コインシデンス分光法への応用
- 27aWP-11 オージェ-光電子コインシデンス分光装置の開発と性能評価(表面界面電子物性(半導体・無機))(領域9)
- 極角分解ミニチュア飛行時間型イオン質量分析器の製作と評価, 電子-イオンコインシデンス分光への応用
- 20aPS-52 電子-極角分解イオンコインシデンス分光法による凝縮 NH_3 の内殻励起誘起イオン脱離研究
- 高感度同軸対称鏡型電子エネルギー分析器の製作と評価,コインシデンス分光への応用
- 29aZE-8 電子一極角分解イオンコインシデンス分光装置の開発と凝縮 H_2O の内殻励起誘起イオン脱離研究への応用
- 15aPS-35 レーザープラズマ真空紫外光源を用いた光励起脱離実験装置の開発(領域 9)
- 22pPSA-21 改良型電子-電子-イオンコインシデンス分光装置の開発とサイト選択的イオン脱離研究への応用(22pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 外径70mmのコンフラットフランジにマウントしたミニチュア電子・イオン・軟X線検出器の製作
- 22aXJ-8 オージェー光電子コインシデンス分光法による酸化シリコン超薄膜(SiO_2/Si(100))の表面・界面の局所価電子状態を反映したオージェ電子スペクトルの測定(表面界面構造,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 18pXB-10 軟X線照射によるカーボンナノチューブからの原子脱離(格子欠陥・ナノ構造(電子状態・金属・炭素系物質),領域10,誘導体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性)
- VACUUM2009第31回真空展の報告
- VACUUM2008第30回真空展の報告
- VACUUM2007第29回真空展の報告
- 24pYC-7 芳香族炭化水素固体のC-H解離における内殻励起効果の研究
- 22pPSA-9 Sm/Si(111)におけるSm4d光電子・SmN_VVオージェコインシデンススペクトル(領域9ポスターセッション,領域9,表面・界面,結晶成長)
- 29a-PS-20 光電子-光イオン・コインシデンス分光法によるSi(100)-Fのサイト選択的イオン脱離の研究
- 25aT-10 TiO_2(110)表面からのイオン脱離-KFモデルの再検討
- 31a-S-4 CO/Si(100)の内殻励起イオン脱離
- VACUUM2010第32回真空展の報告
- 31a-S-3 新型 電子-イオン・コインシデンス装置の製作と評価
- 2p-YF-11 光電子-光イオン・コインシデンス分光法による表面凝縮 Si(CH_3)_3CH_2SiF_3の内殻電子励起に由来するサイト選択的イオン脱離の研究
- 外径70mmのコンフラットフランジにマウントした簡易型金属蒸着源の製作
- 電子遷移誘起脱離研究の先駆者, 石川義興博士および太田芳雄博士の業績紹介
- 固体表面からの内殻励起誘起イオン脱離の研究
- VACUUM2010第32回真空展の報告
- 27a-PS-22 オージェ電子-光イオン・コインシデンス分光法によるNH_3/Xeの共鳴オージェ刺激イオン脱離研究
- 外径70mmのコンフラットフランジにマウントした加熱冷却機構付き二酸化チタン(TiO_2)単結晶ホルダー
- 表面に吸着した水の電子励起に由来する脱離
- 1p-YF-1 電子-イオン・コインシデンス分光法を用いた内殻電子励起に由来するイオン脱離機構の研究
- VACUUM2010第32回真空展の報告
- 高速光電子分光測定システム
- 27pPSA-29 高分解能コインシデンス分光によるSi清浄表面の表面サイトを選択した局所価電子状態の研究(27pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 27pPSA-40 NEXAFS分光法によるPTFE薄膜の分子配向の温度依存性(27pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 内殻電子励起に由来するイオン脱離の研究 -オージェ電子-光イオン・コインシデンス分光法による オージェ終状態を選別した研究-
- 高エネルギー加速器研究機構のBファクトリーとフォトンファクトリーにおける東日本大震災の被害
- VACUUM2011-真空展の報告
- Electronic Structure of Organic Biradical Molecular Films
- 26pPSA-62 Si-LWオージェ電子-Si 2s光電子コインシデンス分光によるSi-2s内殻正孔緩和過程の研究(26pPSA 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))
- 有機ビラジカル分子薄膜の電子構造