高分解能オージェ電子-光電子コインシデンス分光, 電子-イオンコインシデンス分光兼用装置の開発
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概要
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We have developed an electron electron ion coincidence (EEICO) apparatus for high-resolution Auger photoelectron coincidence spectroscopy (APECS) and electron ion coincidence (EICO) spectroscopy. It consists of a coaxially symmetric mirror electron energy analyzer (ASMA), a miniature double-pass cylindrical mirror electron energy analyzer (DP-CMA), a miniature time-of-flight ion mass spectrometer (TOF-MS), a magnetic shield, an xyz stage, a tilt-adjustment mechanism, and a conflat flange with an outer diameter of 203 mm. A sample surface was irradiated by synchrotron radiation, and emitted electrons were energy-analyzed and detected by the ASMA and the DP-CMA, while desorbed ions were mass-analyzed and detected by the TOF-MS. The performance of the new EEICO analyzer was evaluated by measuring Si 2p photoelectron spectra of clean Si(001)-2×1 and Si(111)-7×7, and by measuring Si-L23VV-Si-2p Auger photoelectron coincidence spectra (Si-L23VV-Si-2p APECS) of clean Si(001)-2×1.
- 2008-11-20
著者
-
垣内 拓大
愛媛大学理学部化学科
-
奥沢 誠
群馬大学教育学部
-
橋本 章吾
横浜国立大学工学部知能物理工学科
-
藤田 斉彦
横浜国立大学工学部知能物理工学科
-
間瀬 一彦
高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
-
田中 正俊
横浜国立大学工学部知能物理工学科
-
田中 正俊
横浜国立大学大学院工学府物理情報工学
-
間瀬 一彦
高エネルギー加速器研究機構
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