パルス励起堆積法による窒化物半導体の低温エピタキシャル成長

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2007-05-10

著者

• 藤岡 洋

  東京大学生産技術研究所

• 太田 実雄

  東京大学生産技術研究所

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