三角突起ユニモルフ振動子を用いたマイクロ超音波リニアモータ
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概要
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- 2003-09-17
著者
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上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
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上羽 貞行
東工大・精研
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上羽 貞行
東工大精研
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中村 健太郎
東工大・精研
-
Friend James
東工大・精研
-
尹 〓鎬
東工大・精研
-
Friend James
東京工業大学精密工学研究所
-
Friend James
東京工大 精密工研
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