高分解能ラザフォード後方散乱分光法(高分解能RBS)を用いた界面近傍の格子ひずみ測定

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 2006-05-20

著者

• 鈴木 基史

  京大院工

• 鈴木 基史

  産業技術総合研究所

• 鈴木 基史

  京大

• 中嶋 薫

  京都大学大学院工

• 鈴木 基史

  京都大学大学院工

• 木村 健二

  京都大学大学院工

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