Al合金/Ti積層構造における下地絶縁膜表面粗さのAl合金膜特性への影響
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概要
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- 1997-06-05
著者
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橋本 圭市
沖電気工業(株) 超lsi研究開発センター
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橋本 圭市
沖電気工業
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〓田 博
沖電気工業株式会社 生産センタ
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〓田 博
沖電気工業(株)
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成田 匡
沖電気工業(株)超lsi研究開発センター
-
戸内 謙信
沖電気工業(株)
-
戸内 謙信
沖電気工業(株)超lsi研究開発センター
-
成田 匡
沖電気工業(株)
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