戸内 謙信 | 沖電気工業(株)超lsi研究開発センター

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概要

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関連著者

• 橋本 圭市

  沖電気工業(株) 超lsi研究開発センター

• 橋本 圭市

  沖電気工業

• 〓田 博

  沖電気工業株式会社 生産センタ

• 戸内 謙信

  沖電気工業(株)

• 戸内 謙信

  沖電気工業(株)超lsi研究開発センター

• 鉄田 博

  沖電気工業株式会社生産センタ

• おの田 博

  沖電気工業

• 成田 匡

  沖電気工業(株)超lsi研究開発センター

• 成田 匡

  沖電気工業(株)

• 〓田 博

  沖電気工業(株)

著作論文

• Al合金/Ti積層構造における下地絶縁膜表面粗さのAl合金膜特性への影響
• Al合金/Ti構造における下地絶縁膜表面粗さのAl配向性への影響
• Al高温スパッタ法により形成される生成物と配線信頼性への影響

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