橋本 圭市 | 沖電気工業(株) 超lsi研究開発センター

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概要

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関連著者

• 橋本 圭市

  沖電気工業(株) 超lsi研究開発センター

• 橋本 圭市

  沖電気工業

• 〓田 博

  沖電気工業株式会社 生産センタ

• 鉄田 博

  沖電気工業株式会社生産センタ

• おの田 博

  沖電気工業

• 影山 麻樹子

  沖電気工業

• 戸内 謙信

  沖電気工業(株)

• 戸内 謙信

  沖電気工業(株)超lsi研究開発センター

• 〓田 博

  沖電気工業(株)

• 成田 匡

  沖電気工業(株)超lsi研究開発センター

• 原田 裕介

  沖電気工業

• 成田 匡

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• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センタ

• 井田 次郎

  沖電気工業株式会社

• 井田 次郎

  沖電気工業 超lsi研究開発センター

• 阿部 一英

  沖電気工業(株)

• 山口 俊夫

  沖電気工業超LSI研究開発センタ

• 梶田 陽子

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センター

• ?田 博

  沖電気工業(株)超LSI研究開発センター

• 吉丸 正樹

  沖電気工業(株)シリコンソリューションカンパニー研究本部

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著作論文

• Al合金/Ti積層構造における下地絶縁膜表面粗さのAl合金膜特性への影響
• Al/TiN積層配線におけるAlの配向性とエレクトロマイグレ-ション特性
• Ti密着層を用いたAl-Si-Cu埋め込みヴィアのエレクトロマイグレーション
• Al合金/Ti構造における下地絶縁膜表面粗さのAl配向性への影響
• Al高温スパッタ法により形成される生成物と配線信頼性への影響
• EM加速試験におけるAl配線抵抗増加特性
• 多層配線における埋め込みヴィアホール形成技術
• スパッタCuリフロー法による溝埋込み配線形成

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