Al/TiN積層配線におけるAlの配向性とエレクトロマイグレ-ション特性

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概要

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• 沖電気工業沖時報編集委員会の論文

著者

• 橋本 圭市

  沖電気工業(株) 超lsi研究開発センター

• 〓田 博

  沖電気工業(株)

• 影山 麻樹子

  沖電気工業

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